真空技术第四讲题稿.ppt

真空技术简介 六.真空度测量与真空规校准 概述 真空度测量是指在低于大气压的条件下，对气体全压力的测量。 真空计是测量低于一个大气压的全压力的测量仪器，一般由真空规和控制线路两部分组成。 真空规可分为绝对真空规和相对真空规。 真空测量标准可分为绝对真空校准装置和相对真空校准装置两大类。 真空的测量—真空计1. 绝对真空计 直接测量真空度的量具，如U型计、压缩真空计(麦克劳真空计) 。 压阻式真空规 2. 相对真空计 2.1 热偶真空计(热传导真空计) 测量范围：100— 10-1 Pa 测量下限：热丝温度较高，气体分子热传导很小，热丝引线本身的热传导和热辐射引起的热量减小占主导地位，这两部分与压强无关。 热传导真空规原理图 热偶真空规 热偶规校准曲线 电阻真空规 金属电阻温度系数 定温型电阻规工作原理 定温型电阻规的校准曲线 潘宁规（冷阴极放电规） 1937年潘宁首先利用在磁场和电场中的冷阴极放电现象来测量低压力，制成潘宁规。 2.2 热阴极电离真空计 原理：电子与气体分子碰撞引起分子电离，形成电子和正离，电子最终被加速极收集，正离子被收集极接收形成离子流： I+ = kIep = cp 其中，k称为电离计的灵敏度，是单位电子电流、单位压强下的离子流。 测量