Pirani Gauge派藍尼真空計 南台科技大學知識分享平台 皮拉尼计派藍尼真空計南台科技大學知識分享平台.pptVIP

授課老師：吳文端 老師 學生：王崑鴻 MA0L0119 陳智揚 MA0L0211 Pirani Gauge(派藍尼真空計) 引言 藉由量測一發熱體與一接受發熱體之間導熱程度來判斷氣體的壓力。 當Kn值在0.01Kn10之間時，熱傳導的量與壓力成正比的關係。 (Kn，紐森數)氣體稀薄化效應的無因次參數Knudsen number ≡ λ/D ， λ：分子的自由入徑， D：系統元件特徵長度。 在低壓力時，熱的喪失可經由三個途徑，分別是周遭氣體的導熱，輻射熱，以及支柱發熱體本身的主幹。 為了使量測壓力的精確度提高。後兩者的熱量損失，盡量避免。 引言 真空計包含： 感測頭：多為金屬或玻璃之外殼，內有感測真空壓力之燈絲/或其他感溫元件。 控制器：提供感測頭所必須之電源電路，做訊號放大處理之類比線路。 熱傳導式真空計之分類： 派藍尼真空計 熱電耦真空計 熱敏電阻真空計 派藍尼真空計 派藍尼真空計 利用Wheatstone bridge 的補償原理，其中一燈絲作為該電路的其中一個電阻。倘若燈絲所在的氣體分子密度改變時，其導熱度會有所不同，因此燈絲所表現的溫度會不同，間接影響電阻值的大小。固定電壓，固定電流以及固定溫度中以最後一種方法做敏感不同氣體其導熱度不同，因此在刻度上需要校正。 種類 定電壓式 定電流式 基本原理： 派藍尼真空計 定電流式 燈絲溫度會隨著真空壓力而變化，由於燈絲係高電阻溫度係數材料，燈絲溫度的改變會導致燈絲之電阻值改變，以電阻電橋之感測方向來測定電組之改變即可察覺到真空壓力變化。 派藍尼真空計 派藍尼真空計 定電流式 派藍尼真空計 定電壓式 當感測頭內之燈絲上維持一定的電壓時，燈絲溫度會隨真空壓力而變化，以真空壓力變高時為例，此時由熱傳導所帶走之熱能增加，燈絲溫度會降低，由於燈絲是高電阻溫度係數材料，燈絲溫度的降低會導致燈絲之電阻上升，當供應給燈絲之電壓不變時，將會使供應給燈絲之電流降低，由此一電流之減少察覺到真空壓力變高。反之，以真空壓力變低時，油此一電流之增加以察覺到真空壓力變低。 派藍尼真空計 Pirani Gauge Calibration A:constant Temp. B:constant Volt 採用McLeod 來校正 真空的領域 中真空 1～10-3 torr 黏性流～ 分子流 麥克勞真空計(Mcleod) 派藍尼真空計(Pirani) 油旋轉幫浦噴射幫浦機械式升壓器 50μm～5cm 分子平均自由路徑與系統特徵長度的比 * 低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。?計。? 熱傳導真空計主要被應用於中低真空領域。?代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空 * 分子平均自由路徑與系統特徵長度的比 * 低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。?計。? 熱傳導真空計主要被應用於中低真空領域。?代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空 *