黄光制程工艺流程试题.pptVIP

* Strip Stripping：有机溶液将玻璃上面的光阻除去的过程。 主要控制参数：剥膜时间，剥膜液浓度。 主要参考参数：剥膜不净，光阻回黏，剥膜药液残留。 Stripping * AEI After Etching Inspection：检查玻璃品质。 AEI * 谢谢 黄 光 制 程 2013.9.10 总流程图 * BM制程 ITO1制程 OC1制程 ITO2制程 MAM制程 OC2制程 Glass 黄光制程：通过对涂覆在玻璃表面的光敏性物质(又称为光刻胶或光阻)，经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用，然后进行蚀刻脱膜并最终获得永久性图形的过程。 * 制程流程 * Clean IR/UV/CP CT Pre-bake Expo Dev Glass Post-bake Etch Strip Sputter Clean 素玻璃经过清洗、烘烤后进入真空室进行溅镀ITO/MAM。 * Glass Glass * Clean Glass Cleaning：去除玻璃表面的脏污、油污等，使玻璃表面清洁，以保证后续光阻的涂布效果及结合力。 主要控制参数：清洗液浓度，清洗速度，脱脂毛刷压入量。 Cleaning * Clean 成膜前清洗流程：入料→液切→洗涤剂喷淋→洗涤剂刷洗→液切→冲洗→纯水刷洗→高压喷淋→中压喷淋→二流体喷淋→末端DI水喷淋→风刀吹干→出料 Clean