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世界主要国家和地区微电子技术 黄艳芳 1 美?国 1.1?军用起家，以军促民，军民一体化 ??? 美国是世界微电子技术第一强国，也是军用微电子技术的霸主。美国的微电子技术是靠军用起家的，为发展微电子技术，美国政府通过军方采取了有力的措施，并由军方组织调研、制定战略，以及组织实施了一系列发展计划。 20世纪80年代到90年代，美国军方先后提出和组织实施了超高速集成电路（VHSIC）和微波毫米波单片集成电路（MIMIC）计划以及微波和模拟前端技术计划（MAFET）。 通过这些计划的实施，开发出许多先进的军用微电子产品，并顺利地应用于军用电子装备和武器系统，它对提高电子装备和武器系统的性能、效能和可靠性都产生了重大影响，同时对整个电子技术的发展作出了重大贡献。 ??? 美国一向重视基础研究和应用技术的开发，但对大规模、低成本生产技术的开发重视不足，导致在20世纪80年代中期美国的半导体市场优势逐渐让位于日本，在技术上的优势也发生动摇。为了重振半导体这一战略工业，1987年，在美国半导体工业协会（SIA）提议下成立了由政府资助和参与的半导体制造联合体SEMATECHSEMATECH计划是一项军民一体的半导体生产技术发展计划，目标是致力于开发先进的半导体制造技术、材料和生产设备，以保证美国半导体工业在制造技术方面的世界领先地位。联合体由14家半导体企业和系统公司参加，由工业界经营管理，由国防部DARPA负责监督。每年研发费2亿美元，政府和产业各负担一半。整个SEMATECH计划原定用6年的时间，分3个阶段完成，分别以0.8、0.5和0.35μm工艺技术和4M、16M、64M DRAM等代表产品为目标。SEMATECH于1992年按时达到了它的总目标：完全用美国设备制造出最新技术水平的半导体器件，使美国半导体制造技术能力大为增强，其世界市场份额于1993年又恢复到领先的地位。1992年SEMATECH达到全部目标后，大多数成员公司和DARPA都决定继续保留联合体。因此，SEMATECH联合体至今仍存在，并继续开发先进的微电子技术。DARPA建议政府继续支持它的研究开发工作，还建议从1993财年开始把原来的专款改为项目款，每年为微电子制造研究开发项目拨款8000万美元，以满足国防部建立高性能信息系统的需要。由此可见，美国军方的支持对微电子工业的形成和发展，并使美国的微电子技术保持领先地位起到了举足轻重的作用。 1.2?完善的战略研究与实施体系 ??? 以军促民，军民一体化发展战略模式的成功，在相当大的程度上还得益于美国有一个较为完整的战略研究与实施体系。这个体系从政府部门延伸到非政府部门，由军方延伸到民间，有组织牵头机构，有咨询参谋机构，有实施执行机构，还有监督审计机构，这些机构相互配合，形成合力，共同推进美国的微电子工业的发展。 （1）独立的军用微电子体系，重大项目由国防部直接牵头、管理美国微电子技术的发展是从军用起家，然而，到20世纪80年代，民用电子系统已开始大量使用集成电路（IC），军品比重下降到8%，但是，为适应国防需求的快速变化以及对军品的特殊要求，美国仍把军用IC作为有别于民用体系的专用系统来运作。例如，美国军用IC执行专门的质量保证体系和军用技术标准，军用IC的私营承包商接受国防部的特别资助，同时执行特别的会计和审计制度。美国国防部的采购政策保护定点的厂家获得足够的军品订单，同时通过财务审计对企业的军品生产成本实施监督，把企业在执行政府合同的利润限制在“合理的”水平上。尽管随着微电子技术的发展，军用产品的采购开始逐步转向民用产品，但对一些军用关键技术和产品还是以军方的研究开发为主。对一些对未来军事电子装备和武器系统性能的提高具有巨大推进作用并将产生深远影响的战略性产品，或关键的共性技术和基础技术，或军事特殊应用的高性能微电子器件，一般都由国防部直接管理，列为国防部重要的以至首要的研究项目，投入资金组织研究开发，或以重大的军事合同来实现。 （2）设立咨询参谋机构，强化政府的决策和管理 ??? 高层次的参谋咨询机构在美国微电子工业的发展中起到了非常重要的作用。这类机构主要有两个：国防科学委员会和半导体咨询委员会。 国防科学委员会具有军方背景，1986年受国防部委托所做的美国调查报告充分显示了该机构的重要作用。它认为半导体工业对于美国是“至关重要”的，是具有“战略重要性”的产业。为了振兴美国的半导体工业，它提出了许多重大建议，如建立半导体制造技术协会，资助8所大学建立半导体研究开发中心，国防部对半导体的研发投入应大幅度增长等等，大部分建议都被政府采纳。美国国家半导体咨询委员会（NACS）是1987年经美国国会批准成立的，成员来自于国防部、能源部、商务部等政府部门代表及IBM、ATT和TI等半导体大企业的总裁，但需经总统任命。在