项目八压电式传感器浅析.ppt

8.2 压电材料及压电元件的结构 一、压电材料 压电材料一般应考虑以下主要特性： 1) 具有较大的压电常数。 2) 压电元件的机械强度高、刚度大并具有较高的固有振动频率。 3) 具有高的电阻率和较大的介电常数。 4) 具有较高的居里点。居里点高可以得到较宽的工作温度范围。 5) 压电特性不随时间蜕变，有较好的时间稳定性。 1.石英晶体 石英晶体有天然和人造两种类型。人造石英晶体的物理+化学性质几乎与天然石英晶体无多大区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。它在几百摄氏度的温度范围内，压电系数不随温度而变化。石英晶体的居里点为573℃，即到573℃时，它将完全丧失压电性质。它有很大的机械强度和稳定的机械性能，没有热释电效应，但灵敏度很低，介电常数小，因此逐渐被其他压电材料所代替。 2.水溶性压电晶体 这类压电晶体有酒石酸钾钠(NaKC4H4O6●4H20)、硫酸锂(Li2SO4 ● H2O)、磷酸二氢钾(KH2PO4)等。水溶性压电晶体具有较高的压电灵敏度和介电常数，但易于受潮，机械强度也较低，只适用于室温和湿度低的环境下。 3.铌酸锂晶体 铌酸锂是一种透明单晶，熔点为1250℃，居里点为1210℃。它具有良好的压电性能和时间稳定性，在耐高温传感器上有广泛的前途。 3.压电陶瓷 这是一种应用最普遍的压电材料，压电陶瓷具有烧制方便、耐湿、耐高温、易于成形等特点。 1) 钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡(BaTiO3)是由BaCO3和TiO2二者在高温下合成的。具有较高的压电系数和介电常数。但它的居里点较低，为120℃，此外机械强度不如石英。 2) 锆钛酸铅系压电陶瓷(PZT) 锆钛酸铅是PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb(Zr·Ti)O2。它具有较高的压电系数和居里点(300℃以上)。各项机电参数受温度影响小，时间稳定性好。此外，在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素（如铌、锑、锡、锰、钨等）还可以获得不同性能的PZT材料。因此锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料。 3) 铌酸盐系压电陶瓷 钽铌酸铅具有很高的居里点和较低的介电常数。铌酸钾的居里点为435℃，常用于水声传感器中。 4) 铌镁酸铅压电陶瓷(PMN) 这是一种由Pb(MgNb)O3、PbTiO3、PbZrO3组成的三元系陶瓷。它具有较高的压电系数和居里点，能够在较高的压力下工作，适合作为高温下的力传感器。 4. 压电半导体 有些晶体既具有半导体特性又同时具有压电性能，如ZnS、CaS、GaAs等。因此既可利用它的压电特性研制传感器，又可利用半导体特性以微电子技术制成电子器件。两者结合，可为新型传感器。 5. 高分子压电材料 某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后，有一定的压电性能，这就是高分子压电薄膜。目前出现的压电薄膜有聚二氟乙烯PVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC、聚γ甲基-L谷氨酸脂PMG等。这是一种柔软的压电材料，不易破碎，可以大量生产和制成较大的面积。 5. 高分子压电材料 高分子压电薄膜及拉制 5. 高分子压电材料 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 5. 高分子压电材料 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 6. 高分子压电材料 压电式脚踏报警器 二、压电元件的结构型式 在压电式传感器中，常用两片或多片组合在一起使用。由于压电材料是有极性的，因此接法也有两种，如下图所示。图a为并联接法，其输出电容C＇为单片的n倍，即C＇=nC，U＇=U，Q＇=nQ。图b为串联接法，这时有Q＇＝Q， U＇= nU，C＇=C/n。 a) b) 在以上两种联接方式中，并联接法输出电荷大，本身电容大，因此时间常数也大，适用于测量缓变信号，并以电荷量作为输出的场合。串联接法输出电压高，本身电容小，适用于以电压作为输出量以及测量电路输入阻抗很高的场合。 压电元件在压电式传感器中，必须有一定的预应力，这样可以保证在作用力变化时，压电片始终受到压力，同时也保证了压电片的输出与作用力的线性关系。 8.3 测量电路 一、等效电路 压电传感器在受外力作用时，在两个电极表面将要聚集电荷，且电荷量相等，极性相反。这时它相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为： 式中，ε0为真空介电常数：ε为压电材料的相对介电常数；h为压电元件的厚度；A为压电元件极板面积。 因此可以把压电式传感器等效成一个与电容相并联的电荷源