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第五章 声学传感器 1.超声波传感器 2.声表面波传感器 超声波物位计 5.1 超声波传感器 一、声波的基本性质 1.声波的类型及传播速度 2.声压及声阻抗 3.声功率及声强 4.声波的反射和折射 5.声波的衰减 传播速度 式中 K——介质的弹性模量 ρ-----介质的密度 E----固体介质的杨氏模量 μ---固体介质的波松比 G----固体介质的剪切弹性模量 ρ---介质的密度 二、超声波的物理效应 1.空化效应 2.机械效应 3.热效应 4.强化扩散 5.乳化作用 6.凝聚作用 三、超声波检测技术 1.超声技术 ⑴超声加工处理技术 是超声波的功率应用 利用某种超声效应 着重一些描述声场强弱的物理量 ⑵超声检测技术 使用灵敏度高但功率不大的超声换能器 要求避免产生强烈的超声效应 着重超声传输特性的物理量 2.超声检测方法 ⑴应用声速测量 ⑵声衰减 ⑶声阻抗 四、超声波传感器 超声波传感器特征 A.超声波频率 C=fλ 超声波频率在很大程度上决定了超声波对缺陷的探测能力 频率高： 波长短，声束窄，扩张角小，能量集中。因而发现小缺陷能力强，分辨率高，缺陷定位准确。 散射大，衰减显著，穿透力弱。同时回波形状复杂，使得信噪比降低。因此在检测粗糙面时，应选择低频率。 反射性强。如果波不是近于垂直地射到裂面上，在检测方向上就不能产生足够大的回波。频率越高这种现象越显著。 扫描空间小，仅能发现声束轴线附近的缺陷。 脉冲接触法常用的频率范围 频率范围 应用 25~100KHz 混凝土、岩石等粗结构材料 200K~1MHz 灰口铁、可锻铸铁等相当粗的材料 400K~5M 钢、吕、黄铜等细晶粒材料 200K~2.25M 塑料 2.25~10MHz 管、型材等有色金属 1~10M 维修检测，特别是疲劳裂纹 B型号标识 基本频率→晶片材料→晶片尺寸→探头种类→特征 其中： 晶片材料：用缩写符号 P锆钛酸铅B钛酸钡T钛酸铅 探头种类：Z直探头 K斜探头 特征：探头的几何特征 五、超声波在检测中的应用 1.超声波物位计 2.超声波流量计 3.声纳 4.无损检测 5.超声波成像 5.2 声表面波传感器 声表面波器件 863计划新材料技术领域2008年度，专题四、光电信息与特种功能材料专题，确定的五个方向： 高功率掺铥光纤激光器及其关键部件 基于量子阱激光器的气体检测系统关键技术 微光电机械系统（MOEMS）可调谐光通信器件关键技术及应用 高频声表面波关键材料与应用研究 片式热敏材料及热敏电阻元件制备技术 1.概述 ①声表面波 ： Surface Acoustic Wave 简写为SAW ②优点： 2.叉指换能器 ①器件构成 ②物理过程 ③叉指换能器的基本特性 A.最高工作频率 式中 V——材料的表面波声速 f0 —— SAW频率，与外加电场同频 当指宽a与间隔b相等时，T＝4a，则工作频率f0为： B．带宽取决于叉指的对数 3.SAW振荡器基片 延迟线型 谐振型 4.应用 声表面波压力传感器 声表面波加速度传感器 声表面波陀螺仪 1.气敏传感器 2.无源无线传感系统 例：无源无线传感器 3. SAW RFID无芯片电子标签系统（Chipless） * *