【物理】一课教育资料WIRE BOND.pptVIP

一課教育用資料 ２００５年５月作成 ８、Capillary部位の名称 H ： T ： CD ： OR ： FA ： ICA ： CA ： ９、Capillary先端説明 １０、金線太さに対しCapillaryのHoleが大きい場合 １１、OR/FAによる２ｎｄ Bondの影響　　　（１）ORが小さく、FA角が厳しい場合　　　　　　２ｎｄ Bond時にFrameとの接着面積が小さくなり剥れや切れの原因となる。　　　（２）OR?FA共、適正な場合　　　　　　２ｎｄ Bond時のFarme接着面積が確保出来る。 １２、Chamferによる影響　　　Chamferがなく鋭角な場合　　　　Looping時に鋭角な部分に金線が当たるとDamageが加わり亀裂が入　　　　　　ると断線の可能性がある。　　　　金線へのDamageを極力少なくすることが安定したLoopingを行う要素　　　　　　である。 １３、Arch高さ及びBall規格 Package別Arch高さ（単位：μｍ） １４、Ball Shear応力とWire引張り強度 BALL SHEAR TEST MODE * WIRE BOND Ⅰ，条件 　　１、Capillary 　　　chamfer形状やhole径が異なると、この部分に入るAu ballの体積が変わるのでball形　　　　　　 状の規格が満たせなくなる。Capillaryの各部の形状は、1st BOND接合性、LOOP形状、　　　 LOOP安定性、neck強度、2nd接合性、2nd強度、wire切れ性等に大きな影響を与える　　　 　 　 のでCapillary形状を変更する際には十分な検討が必要となる。 T1-35-XL-R 1570-35-437-P TS70-35-C-1/16-XL TS-2-35-D-LL-P 41480-0025-330 φ７０ (OR=114) T1-30-XL-R 1570-30-437-P TS70-30-C-1/16-XL TS-2-30-D-LL-P 41480-0020-330 φ６０ T1-30-XL-R 1570-30-437-P TS70-30-C-1/16-XL TS-2-30-D-LL-P 41480-0020-330 φ５０ T1-22-XL-R 1570-22-437-P TS70-22-C-1/16-XL TS-2-22-D-LL-P 41480-0015-330 φ４０ T1-18-XL-R 1570-18-437-P TS70-18-C-1/16-XL TS-2-18-D-LL-P 41480-0013-330 φ３０ T1-15-XL-R 1570-15-437-P TS70-15-C-1/16-XL TS-2-15-D-LL-P 41480-0010-330 φ２５ T1-15-XL-R 1570-15-437-P TS70-15-C-1/16-XL TS-2-15-D-LL-P 41480-0010-330 φ２３ (μｍ) ＴＯＴＯ ＧＡＩＳＥＲ ＳＰＴ 京セラ Micro-Swiss 金線径 ２、Capillary取付高さ及び締付けTORQUE 　　　（１）CAPILLARY取付け高さ　　　　　　?Transducer上面と面一にする(～ACB25)　　　　　　?治具を用いて取り付ける(ACB35～)　 　　（２）CAPILLARY締付けTORQUE　　　　　　?指定Torqueで取付ける ACB15/25,UTC-10/40/43/6TR ： ACB-35/40/400,FB-107B/118A： （３）TORQUE DRIVER： 　　　　　　TORQUE DRIVER BIT：　 　注意事項 　　超音波振動のcapillaryへの伝達が不充分になり、接合のためのenergyが少なくなって十分　 　　な接合強度が得られない。 　　US LEVELは発振電流値と相関があり、値が小さいことはcapillaryへの超音波の伝達が不　 　　充分なことを意味するのでcapillary取付時には値が基準内であることを確認する。 ３、Capillary管理 　　　　（１）使用限度： 　　　　　　　　　　　　　但し、限度内に於いて、欠、傷等の破損が生じた場合は廃棄とする。　 　　　　　　　　　　　　　洗浄は３回までとし、以降は廃棄とする。 　　　　　　　　　　　　　（４００k Bond内／回×３回洗浄） 8.82±0.98N?cm(0.9±0.1kgf?cm) 14.7±0.98N?cm(1.5±0.1kgf?cm) ３R