先进制造技术探讨.doc

研究生课程论文 科 目： 教 师： 姓 名： 学 号： 专 业： 类 别： 上课时间： 考 生 成 绩： 卷面成绩 平时成绩 课程综合成绩 阅卷评语： 阅卷教师 (签名) 重庆大学研究生院制 摘 要 本文主要介绍了微细加工技术的概念，微细加工技术中的LIGA技术，以及在此基础上开发出来的UV-LIGA技术、Laser-LIGA技术、DEM技术、SLIGA技术等准LGIA技术的概念、原理、基本工艺、特点,以及在微机械、传感器、射频等领域中的应用，最后在以上基础上分析总结了LIGA技术的发展方向机趋势。 关键词: 微细加工技术；LIGA技术；准 LIGA 技术；微机械； Abstract This paper mainly introduces the concept of micro machining technology, the LIGA technology of Micro machining technology, and developed technology on the basis of the LIGA, such as UV-LIGA technology, Laser-LIGA technology, DEM technology, SLIGA technology, then introduces the concept, principle, basic process and characteristics, as well as the application in micro machinery, sensors, radio-frequency technique. Finally on the basis of above analysis I summarize the LIGA technology trend and direction of the development. Keywords: Micro machining technology; LIGA technology; quasi LIGA technology; micro machinery; 微细加工技术之LIGA加工技术 1．微细加工技术的概念与特点 微细加工技术原指加工尺度约在微米级范围的加工制造方法。在微机械研究领域中，从尺寸角度来看微机械可分为:1mm-10mm的微小机械，1μm-1mm的微机械，1nm-1μm的纳米机械，微细加工则为微米级精细加工、亚微米级微细加工、纳米级微细加工的通称。广义上的微细加工，几乎涉及现代特种加工、微型精密切削加工等多种方式，微机械制造过程又往往是多种加工方法的组合。 微细加工技术应满足下列功能：? 1）为达到很小的单位去除率，需要各轴能实现足够小的微量移动，对于微细的机械加工和电加工工艺，微量移动应可小至几十个纳米，。? 2）高灵敏的伺服进给系统，它要求低摩擦的传动系统和导轨主承系统以及高精度跟踪性能的伺服系。? 3）高平稳性的进给运动，尽量减少由于制造和装配误差引起的各轴的误差。? 4）高的定位精度和重复定位精度。? 5）低热变形结构设计。? 6）刀具的稳固夹持和高的重复夹持精度。 7）高的主轴转速及极低的动不平衡。? 8）稳固的床身构件并隔绝外界的振动干扰。? 9）具有刀具破损和微型钻头折断的敏感的监控系统。 目前，微细加工技术已逐渐被赋予更广泛的内容和更高的要求，已在特种新型器件、电子零件和电子装置、机械零件和装置、表面分析、材料改性等方面，特别是微机械研究和制作方面，微细加工技术已成为不可或缺的基本技术。 2．LIGA加工技术 2.1概述 LIGA是德文Lithographie、Galvanoformung和Abfor-mung三个词即光刻、电铸和注塑的缩写, 早在20世纪60年代初,德国的Karlsruhe原子能研究中心致力于开发一项技术,即用气体弯曲喷射的离心力方法处理六氟化铀和轻的辅助气体,从而分离出铀同位素，到20世纪70年代末该中心的Ehrfeld教授综合研究成果开发了LIGA技术。LIGA工艺是一种基X射线光刻技术的MEMS加工技术，主要包X光深度同步辐射光刻，电铸制模和注模复制三个工艺步骤。由于X射线