CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片.pdf

No．5 第19卷第5期 传感技术学报 V01．19 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL 0ct．2006 ofGlassMicrofluidicLaserDirect andWet Fabrication Chipby Writing Etching LIU Wei—wei，GAOWei—wei，ZHOU Xiao—qing，HAO Yong—liang。 andThe ofChemistryKeyLaboratoryfor吼emicalBiology ，Department 、 andChemical 361005，China／ LofFujianProvince，CollegeofChemistry Engineering，XiamenUniversity，XiamenFujian fabricated andwet was inthemicrofluidicfield． Abstract：Glasschips byphotolithographyetchingpopularly。used Amethodwas tofastfabricate avoid eDanAeland film developed glasschip photolithography．Theenamel／Au／Cr of carried laserbeforewet wereusedassacrificial the out o。2 layer，thendevelopmentpattern by of solutionand wereevaluated． effectof 0a parameterlaser，etching saerifieiallayer words：mierofluidic 1aser；wetetching Key chip；fabrication；C02 E】艮峋C：2575；4360 C02激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片 刘晓清，郝苇苇，高巍巍，周勇亮“ (厦门大学化学化工学院化学系，化学生物学福建省重点实验室，福建厦门，361005) 摘 要：玻璃是制作微流控芯片的重要材料，其N-cI艺主要基于光刻后湿法腐蚀，对设备和实验室要求较高．本文提出以 普通指甲油和指甲油／金／铬为牺牲层，利用c02激光烧蚀开窗El，辅以湿法腐蚀加工玻璃基微流控芯片的方法，并考察了激 光加工参数，腐蚀液组成，牺牲层等因素对芯片质量的影响．该方法简便易行，不需要光刻的昂贵设备和繁杂步骤． 关键词：微流控芯片；制作；c02激光；湿法腐蚀 中图分类号：TN405 文献标识码：A 微流控芯片的研究在近10一15年引起了广泛窗口，结合湿法腐蚀进行玻璃微流控芯片的制作，避 的重视，并得到飞速发展，在分析、合成及细胞培 免了光刻步骤，可降低生产成本，缩短制作时间． 养等领域都得到应用[1≈]．玻璃以其稳定的表面性