单晶矽及多晶矽太阳能电池的发展及其演进单晶矽太阳能电池的制程.doc

單晶矽及多晶矽太陽能電池的發展及其演進 單晶矽太陽能電池的製程技術 以規則性以及週期性進行三度空間分布地排列而成的鑽石結構 非晶矽的、多晶矽的、以及單晶矽的三種不同的結晶型態 柴可夫斯基長晶法 (a) 以及浮動帶熔融長晶法 (b 零度空間型的點缺陷、一度空間型的線缺陷、二度空間型的面缺陷、以及三度空間型的體缺陷 單晶矽太陽能電池的發展及其演進 兩面受光型太陽能電池胞的基本結構示意圖 典型的結構以及其外觀尺寸示意圖 兩面受光型太陽能電池的輸出特性 (a) 以及發電特性 (b) 的關係圖 單晶矽太陽能電池的基本結構，有一般接合型構造、淺接合型構造、以及背表面場型構造等三種 光電流的產生是由擴散電流以及漂移電流等兩種不同物理機制的電流所組成的 多晶矽太陽能電池的製程技術 冶金級矽材料的製程流程 - 碳熱還原製程法的示意圖 碳熱還原製程 (Carbothermic Reduction Process) 主反應 SiO2(s) ( 2C(s) ( Si(l) ( 2CO(g) ( CO2(g) 副反應 Si(l) ( 1/2O2(g) ( SiO(g) SiO(g) ( 1/2O2 ( SiO2(s) 碳熱還原製程 (Carbothermic Reduction Process) 在內層高溫熱區：反應溫度在1,900~2,100(C 2SiO2(l) ( SiC(s) ( 3SiO(g) ( CO(g) SiO (g) ( SiC(s) ( 2Si(l) ( CO(g) 在外層低溫冷區：反應溫度小於1900(C SiO(g) ( 2C ( SiC(s) ( CO(g) 2SiO(g) ( Si(l) ( SiO2(s) 精煉製程 (Refining Process) 其主要的反應式如下： 3(SiO2) ( 4Al ( 3Si(l) ( 2(Al2O3) SiO2 ( 2Ca ( Si(l) ( 2(CaO) SiO2 ( 2Mg ( Si(l) ( 2(MgO) Si(l) ( O2 ( (SiO2) 鑄型壓碎製程 (Casting Scratch Process) 西門子製程法的製作流程示意圖 鑄型壓碎製程 (Casting Scratch Process) 第一階段化學反應式 Si(s)(3HCl(SiHCl3(H2 Si(s) ( 4HCl ( SiCl4 ( 2H2 SiCl4 ( H2 ( SiHCl3 ( HCl 3SiCl4 ( 2H2(Si ( 4SiHCl3 2SiHCl3 ( SiCl4 ( Si ( 2HC 第二階段化學反應式 2SiHCl3 ( SiH2Cl2 ( SiCl4 SiH2Cl2 ( Si ( 2HCl HSiCl3 ( H2 ( Si ( 3HCl HSiCl3 ( HCl ( SiCl4 ( H2 聯合碳化物製程法的製作流程示意圖 乙西爾製程法的製作流程示意圖 基板型太陽能電池 (a) 以及表板型太陽能電池 (b) 的基本結構示意圖 基板型太陽能電池的製作流程 多晶矽太陽能電池的發展及其演進 單一接面式的 (a)、雙重接面式的 (b)、以及多重接面式的 (c) 結構示意圖 在薄膜狀太陽能電池的結構上差異： 單一接面式的，如圖 (a)所示 雙重接面式的，如圖 (b)所示 多重接面式的或堆疊式的，如圖 (c)所示 代表性球狀矽太陽能電池的實體以及用於光學模擬計算的解剖體 代表性球狀矽太陽能電池的實體以及用於光學模擬計算的解剖體 球狀矽太陽能電池在氫鈍化處理之前與之後，輸出特性以及量子轉換效率 在不同溫度 (a) 以及照射強度 (b) 之下，微結晶多層接面式堆疊太陽能電池的電壓 - 電流特性圖 並列接線以及直列接線等兩種模組配線連接方式