LED外延技术的最新进展浅析.doc

目 录 第一章 引 言 1 1.1 LED产业的发展及优势 1 1.3 本文的研究意义 2 第二章 GaN基衬底LED外延技术的最新进展 3 2.1 GaN基LED衬底的选择 3 2.2 Si衬底GaN基LED的生长方式 4 2.3 Si衬底GaN基LED面临的问题 5 2.4 Si衬底GaN基LED的研究进展 6 2.4.1 Si衬底GaN器件的研究进展 6 2.4.2 Si衬底GaN基LED的研究进展 7 2.5 本章小结 9 参考文献 10 第一章 引 言 1.1 LED产业的发展及优势 LED产业的发展最初开始于1907年，科学家们发现，当半导体材料两端加上电压后能发光。20世纪60年代，第一只用GaAsP制作的LED问世[1]。1968年，出现了第一批LED产品。20世纪70年代，LED得到了迅速的发展，其发光效率得到了迅速增加，颜色也出现了多样化，包括绿光、黄光等。1996年，第一只白光LED研制成功了，并于1998年出现第一批白光LED产品[2]。使得LED产业从之前单纯的标识显示功能向应用性的照明功能迈出了意义重大的一步。LED是世界照明工业一次全新的革命[3]。与其他传统的照明灯相比，LED具有下列显著的优势： 耗电量小，绿色环保：LED理论上实现了能耗降为白炽灯的10%，荧光灯的50%。寿命增加到荧光灯的10倍，白炽灯的100倍。而能源消耗中，人类照明消耗排名第二，约高达全部能源消耗的四分之一，但是如果传统的白炽灯能够用LED灯取代，那么照明损耗将减小到原来的10%[6]，并且可以实现CO2减排原来的90%，这是最简单而且最有效的节能减排手段。 寿命长，可靠耐用，维护费用低：LED可以连续工作10万小时，大功率LED也可连续使用5万小时以上，相比普通的白炽灯寿命长了约100倍。 点亮速度快：LED在汽车信号灯等领域应用极为广泛，这归功于LED的响应速度极快。因此，若在汽车上安装高位LED刹车灯，可有效地减小交通事故的发生。 适用性极广，易控制与管理：LED灯的体积可以做得非常小，因此对各种设备的设计与布置而言更加方便，灵活，适用于各种各样的场合。LED灯既易于进行分散控制或者对点调节控制，也可进行集中性控制，可以通过LED控制电路方便地对其亮度进行调节，实现动态变化效果的控制。 近十多年来，科学家们对LED研究的不懈努力，使得其发光效率在不断提高，从最初的51m/W，到现在实验室的2001 m/W和商用的1501m/W，LED灯的发光效率早已高于荧光灯与白炽灯。目前，商用和民用市场均已经为大功率LDE敞开了大门。早从2009年开始，许多发达国家已经开始禁用白炽灯并提倡用LED灯取而代之，全球其它国家和地区政府也将在近几年开始陆续用LED取代白炽灯。随着大功率LED价格的不断下降，发光效率的不断提高，LED将最终取代其他传统的照明光源成为通用照明灯而进入千家万户。随着各国对于环境保护的逐步重视，节能减排已经成为各个国家以及各级政府的工作重心，所以对于全球LED相关从业者和商家而言，眼前最大的商机就是利用各国的节能政策，把握住白炽灯向节能灯转变的替换潮。大力推进LED产业的研制与发展，在很大程度上将大幅度减少环境污染和能源消耗，因此，对于世界和平以及各国可持续发展具有战略性的意义[6]。 照明应用的巨大能量消耗是不容忽视的，即降低照明应用的能耗意义重大。有效的办法是通过研究发光效率高的灯饰灯具，而LED灯优越的性能成为各商家研究和应用的重点。 1.3 本文的研究意义 LED（Light Emitting Diode，发光二极管）是由磷、氮等的III-V族化合物砷化镓（GaAs）磷化镓（GaP）、以及磷砷化镓（GaAsP）等第二章 GaN基衬底LED外延技术的最新进展 随着信息技术的发展，发光二极管（LED）在我们生活中扮演着重要的额角色，尤其是高亮度LED，在许多场合较为常见。日光灯虽然效率比白炽灯高许多，但由于其发出的光闪烁和色调不柔和，在家庭照明中不受欢迎。而红、绿、蓝三基色LED组合，可以获得更加有效、更令人满意的光源。而GaN基LED从根本上解决了LED中红绿蓝三种基色中缺失蓝色和绿色的问题，大大拓展了LED在各行的应用。 GaN基LED在照明、医疗器械、电子产品、汽车尾灯、路灯等各个领域应用十分广泛[10-11]。各大生产商家都在大力开发对LED的研发力度，使得LED亮度更高，发光效率更高。2008年Gree展出的Xlamp MC-E LED，有冷白、中性白、暖白三种系列，250mA下亮度分别为456lm、376lm、350lm。童年，Epistar的实验水平达100lm/W，Philips的水平为115lm/W，Osran为136m/W。2010年，Gre