基于频闪成像的MEMS静动态特性测试技术.pdf

纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006 基于频闪成像的MEMS静动态特性测试技术 向东L2，陈海清1，王青玲，，李扬1 (1华中科技大学光电工程系，湖北武汉430074；2中国地质大学数学与物理学院，湖北武汉430074； 3中国地质大学地球物理与空间技术学院。湖北武汉430074) 摘要：采用集成频闪成像结合显微干涉技术研制了微机电系统(MEMS)的静动态性测试系统。通过控制LD闪光的频率与 MEMS器件激励信号的频率一致，采用五步相移干涉算法及去包裹算法恢复MEMS器件某时刻的三维静态形貌。调整光脉 冲与激励信号源的相对延时可获得周期内不同时刻的多组干涉图像．对这些干涉图像进行组内、组间去包裹并消除面内运动 测试，验证了此技术的适用性及可靠性。 关键宇。微机械系统(MEMS)；频闪成像；相位解缠；特性测试 The for ofMEMSBased Staticand Characterization Technology Dynamic 。0n StroDoscopicImaging XIANG Dong比。CHENHai-Qin91，WANGQing-LingJ，LIYan91 (1 of Opto-electronicsEngine财ingdepartment,HuazhongUniversityScienceTechnology； 2TheInstitution ofGeosciences； ofMathematics＆Physics，ChinaUniversity 3Theinstitution and ofgeophysicsgeomaticsinformation，ChinaUniversityofGeosciences) Abstract：A and measurementforsl砒icand charactorizationofMEMSiS which system dynamic developed，instroboscopicimaging micro-visionis theLDis atthesame ofthe whichdriv烈ttheMEMS computer signal device，applied applied．Let pulsed frequency the and thesurface of five-stepphase-shiftinterferome仃y algorithm,WOc觚acquire shapes sample．By algorithmunwrapping therelativeoftheLD and can numberofinterferenceofthedifferenttime time traindrivewaveforIn．WC adjusting pulse gain pattern inthe