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等离子体表面处理技术讲座 -----深圳奥坤鑫科技有限公司 网址 制作人:钟 娅 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 1、什么是等离子体及怎样建立等离子体; 等离子体 (中文) = PLASMA (英文) = 电浆 (台湾) 等离子体的发现: 1879、英国物理学家、 William Crookes----物质第四状态 1929、美国化学物理学家、 Langmuir----等离子体 等离子体定义: 部分或是全部电离的气体; 主要包括:电子、离子、中性基团、分子、光子 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 固体 ? 液体 ? 气体 ? 等离子体 能量 能量 能量 等离子体的形成 物质的四种状态 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 什么是等离子体 等离子体成分,对外呈现电中性 物质的第四种形态 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 低温等离子体的建立系统(PCB行业);水平式和垂直式 等离子体工业生产模型 产生低温等离子体系统 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 等离子体主要作用:清洁、蚀刻和改性 清洁:去除表面有机物污染和氧化物 蚀刻:化学反应性蚀刻、物理蚀刻 改性:粗化、交联 2、等离子体在现代工业中的主要用途 等离子体的主要用途: 半导体IC行业 蚀刻小孔,精细线路的加工 IC芯片表面清洗 绑定打线 沉积薄膜 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 纺织行业 纺织纤维表面改性; 生物和医疗行业 半透膜表面亲水的改性; 医疗器械的清洁; 镀膜 物理气相沉积(PVD)镀膜; 化学气相沉积(CVD)镀膜; 磁控溅射镀膜; PCB制作 清洗作用: 改善可焊性; 蚀刻作用:去钻污、去除电镀夹膜; 表面改性:增加亲水性,增强结合力; Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 等离子体技术在PCB行业的应用; 清洗作用(有机物CF4+O2,无机物Ar2+O2) BGA焊盘的清洗;化镍浸金前处理; 蚀刻作用(有机物CF4+O2) 高多层背板去钻污;多层软板;刚挠板去钻污处理;去除夹膜; 表面改性作用( CF4+O2 N2+H2) PTFE板材沉铜前处理、阻焊前处理;层压前处理粗化; Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 3、H2/N2等离子体对以PTFE基高频板改性的研究; 前言 通讯高保密性 高频通信 高速传输 低介电常数 低介质损耗因素 耐高温 聚苯醚 、氰酸脂 聚丁二烯 最常用:PTFE PTFE聚四氟乙烯 物理特性:介电常数低、介电强度高 、介质损耗因素小、半阻燃性、耐热性好; 化学特性:强的耐化学腐蚀性、 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. PTFE难以被水润湿的原因
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