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子孔径拼接技术在长平晶计量中的应用研究.pdf
第32卷增刊 光学tt．术 V01．32
Suppl．
2006年8月 OPTICAL 2006
TECHNIQUE August
文章编号：1002—1582(2006)S-0501—03
子孔径拼接技术在长平晶计量中的应用研究+
何勇，王青，尚博，陈磊，朱日宏
(南京理工大学电子工程与光电技术学院，南京210094)
摘要：研究子孔径拼接在长平晶测试中的应用。讨论了子孔径拼接的基本原理，建立了子孔径拼接模型，确定了
进行长平晶拼接测试的基本算法。根据最小二乘法的基本原理，编制了子孔径拼接数据处理程序，通过使用该程序，可
以有效地修正测试过程中产生的倾斜量。进行了长平晶拼接检测实验，拼接结果与全孔径检测结果进行了比较，结果表
明，该程序能够满足长平晶的检测要求。
关键词：子孔径拼接；长平晶；计量；图像处理
文献标识码：A
中图分类号：0432．2；TN911．73
The researchof in flat
sub-aperture optical
application stitchinglong testing
HE
Yong，WANGQing，SHANGBo，CHENLei，ZHURi．hong
ofElectronic
(Institute of
EngeeringPoto-electricTechnologyNanjing
ofScienceand 210094，China)
University Technokgy，NaNing
Abstract：Theof in flatwasresearched．TheWasdiscussed．Test—
applicationsub-aperturestitchinglongoptical principle
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