以溶胶凝胶法制备非晶态IGZO多元氧化物导电薄膜并探讨不理念.pptVIP

以溶膠凝膠法製備非晶態IGZO多元氧化物導電薄膜並探討不同組成比例及溫度下薄膜之結構與光學特性 日 期：2012.02.22 班 級：碩奈米二甲 授課 老師：劉雲輝 老師 學 號： M99R0102 學 生：陳冠廷 大綱 前言 研究動機 實驗方法 實驗結果 未來目標 * * 透明導電薄膜介紹 TCO (Transparent Conducting Oxide) 首見文獻報導： 1907 - Badeker 發現金屬鉻(Cd)薄膜氧化後，具透明又導電特性。 首次應用： 第二次世界大戰 – 轟炸機的除霧玻璃 * %T~80%(in the visible) ρ 10-3 Ωcm 透明導電氧化物薄膜的應用 平面顯示器(LCD, PDP) 太陽電池(solar cell…) 2. 低輻射玻璃(low-E glass) 3. 雙抗鏡片(抗UV, 抗輻射) * 目前普遍使用在顯示器上的薄膜電晶體有三種分別為: 1.非晶矽薄膜電晶體； 2.低溫多晶矽薄膜電晶體； 3.氧化物半導體薄膜電晶體。 * 傳統非晶矽、低溫多晶矽與氧化物半導體TFT 的比較 * 各種製備方式與其優缺點之比較 製備方式 沉積氛圍 沉積溫度 薄膜品質 成本 磁控濺鍍 真空 高 佳 高 脈衝雷射沉積 真空 高 佳 高