电子能谱XPS-AES题库.ppt

X射线光电子能谱（XPS，X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得表面成分信息的一种能谱。 XPS = ESCA 这种谱仪早期取名为化学分析电子能谱（ESCA ，Electron Spectroscopy for Chemical Analysis），这一称谓仍在分析领域内广泛使用。 逃逸深度与逸出角有关 θ为探测角，出射方向与面法线夹角 当θ = 0 ，垂直表面射出的电子来自最大逸出深度； 当θ ≈ 90 ，近似平行于表面射出的电子纯粹来自最外表面几个原子层 。 改变探测角θ可调整表面灵敏度 光电子发射可以分为三个过程，即： 电子因光吸收而激发 释放出的电子向固体表面移动 克服表面势场而射出—脱离固体表面 对于固体样品，选Fermi能级作参考点。 固体样品的电子由Fermi能级跃迁为真空静止电子（动能为零的电子）所需要的能量称为功函数Ws 。 hv＝ Eb ＋ Ek+ Ws 式中Ek为光电子刚离开固体样品表面的动能；Eb为固体样品中的电子跃迁到Fermi能级时电子结合能； Ws为样品功函数。 固体样品功函数Ws和仪器材料的功函数W’不同，要产生一个接触电势差δW= Ws-W’ 。它将使自由电子的动量从Ek增加为E’k Ek + Ws =Ek + W’ 得 Eb=hv-E’k- W’ W’ 一般为常数（约4eV） E’k由电子能谱测得，这样便可求出样品的电子结合能Eb。 能谱中出现的非光电子峰称为伴峰。 如光电子(从产生处向表面)输远过程中因非弹性散射(损失能量)而产生的能量损失峰，X射线源(如Mg靶的K?1与K?2双线)的强伴线(Mg靶的K?3与K?4等)产生的伴峰，俄歇电子峰等。 谱峰分裂 自旋-轨道分裂 超高真空的获得 利用机械泵，使真空度达到10-2 Torr； 利用涡轮分子泵，使真空度达到10-6 Torr以下； 利用离子泵，达到UHV条件 对待分析的样品有特殊要求，通常情况下只能对固体样品进行分析。 由于涉及到样品在超高真空中的传递和分析，待分析的样品一般都需要经过一定的预处理。 主要包括样品的大小，粉体样品的处理, 挥发性样品的处理，表面污染样品及带有微弱磁性的样品的处理。 在实验过程中样品必须通过传递杆，穿过超高真空隔离阀，送进样品分析室。因此，样品的尺寸必须符合一定的大小规范。 对于块体样品和薄膜样品，其长宽最好小于10mm, 高度小于5 mm。 对于体积较大的样品则必须通过适当方法制备成合适大小的样品。 但在制备过程中，必须考虑到处理过程可能会对表面成分和状态的影响。 两种制样方法：双面胶带直接固定；粉体样品压成薄片再固定。 前者优点是制样方便、样品用量少、预抽到高真空的时间较短；缺点是可能会引进胶带的成分。在普通的实验过程中，一般采用胶带法制样。 后者优点是可在真空中对样品进行处理，如原位和反应等，其信号强度要比胶带法高得多。缺点是样品用量太大，抽到超高真空的时间太长。 对于含有挥发性物质的样品，在样品进入真空系统前必须清除掉挥发性物质。 一般可以通过对样品加热或用溶剂清洗等方法。 在处理样品时，应该保证样品中的成份不发生、化学变化。 对于表面有油等有机物污染的样品，在进入真空系统前必须用油溶性溶剂如环己烷，丙酮等清洗掉样品表面的油污。最后再用乙醇清洗掉有机溶剂。 对于无机污染物，可以采用表面打磨以及离子束溅射的方法来清洁样品。 为了保证样品表面不被氧化，一般采用自然干燥。 光电子带负电荷，微弱磁场下，也可发生偏转。当样品具有磁性时，由样品表面出射的光电子就会在磁场的作用下偏离接收角，最后不能到达分析器，因此，得不到正确的XPS谱。 此外，当样品磁性很强时，还有可能使分析器头及样品架磁化的危险，因此，绝对禁止带有磁性的样品进入分析室。 一般对于具有弱磁性的样品，可以通过退磁的方法去掉样品的微弱磁性，然后就可以像正常样品一样分析。 样品的荷电及消除 荷电的产生： 对于绝缘体样品或导电性能不好的样品，经X射线辐照后，其表面会产生一定的电荷积累，主要是荷正电荷。 荷正电主要原因是光电子出射后，在样品表面积累的正电荷不能得到电子的补充所引起的。 样品表面荷电相当于给自由光电子增加了一定的额外电场，使实测的结合能比正常的要高。 　荷电效应示意图 样品荷电问题非常复杂，一般难以用某一种方法彻底消除。 非单色X射线源的杂散X射线可形成二次电子，构成荷电平衡。（而单色X射线，荷电会很严重） 表面蒸镀导电物质如金，碳等。（蒸镀厚度对结合能测定的影响；蒸镀物与样品相互作