12-5.3压电式传感器摘要.ppt

5.3.1压电式传感器的工作原理（掌握） 5.3.2等效电路及信号测量电路（理解） 5.3.3压电传感器的应用（了解） 5.3 压电式传感器 * * 在实际应用中为提高灵敏度使表面有足够的电荷，常常把两片、四片压电元件组成在一起使用。由于压电材料有极性，因此存在连接方法，双片连接时： * 在实际应用中为提高灵敏度使表面有足够的电荷，常常把两片、四片压电元件组成在一起使用。由于压电材料有极性，因此存在连接方法，双片连接时： 并联连接：两压电元件的负极集中在中间极板上，正极在上下两边并连接在一起，此时电容量大，输出电荷量大，适用于测量缓变信号和以电荷为输出的场合。 串联连接：上极板为正极，下极板为负极，在中间是一元件的负极与另一元件的正极相连接，此时传感器本身电容小，输出电压大，适用于要求以电压为输出的场合，并要求测量电路有高的输入阻抗。 压电元件在传感器应用中，必须有一定的预应力，以保证 在作用力变化时，压电元件始终受到压力；其次是保证压电 元件与作用力之间的全面均匀接触，获得输出电压(或电荷) 与作用力的线性关系。但是预应力不能太大，否则将会影响 其灵敏度。 若从晶体上沿y方向切下一块如下图所示晶片，当在电轴方向施加作用力 时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷Qx，其大小为 式中： ——x方向受力的压电系数； ——作用力。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力 ，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷Qy，其大小为： 5.3.1 压电式传感器的工作原理 ① 当晶片受到x方向的压力作用时，qx只与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关； ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的； ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的； ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ⑤ 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。 5.3.1 压电式传感器的工作原理 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。 压电陶瓷在未进行极化处理时，不具有压电效应； 经过极化处理后，它的压电效应非常明显，具有很高的压电系数，为石英晶体的几百倍。 石英晶体是单晶体结构 2. 压电陶瓷的压电效应 5.3.1 压电式传感器的工作原理 压电陶瓷的压电效应 压电机理与压电晶体不同。 压电陶瓷具有与铁磁材料磁畴结构类似的电畴结构 压电陶瓷的极化 5.3.1 压电式传感器的工作原理 5.3.1 压电式传感器的工作原理 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，材料的内部晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向。 无电场作用时，电畴在晶体中分布杂乱分布，极化相互抵消，呈中性。 5.3.1 压电式传感器的工作原理 图 压电陶瓷的极化 (a) 未极化; (b) 极化后 施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向外电场方向排列。外电场强度达到饱和程度时，所有的电畴与外电场一致。 外电场去掉后，电畴极化方向基本不变，剩余极化强度很大。所以，压电陶瓷极化后才具有压电特性，未极化时是非压电体。 5.3.1 压电式传感器的工作原理 陶瓷片极化 剩余极化强度 束缚电荷 自由电荷 自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数值相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用，因此陶瓷片对外不表现极性。 5.3.1 压电式传感器的工作原理 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的外力F，陶瓷片将产生压缩形变（图中虚线），片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，电畴发生偏转，极化强度也变小。原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电现象。 当外力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。 由机械能转变为电能的现象 就是正压电效应。 ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － － － － － ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ F － ＋ 5.3.1 压电式传感器的工作原理 晶体极化后，沿极化方向（垂直极化平面）作用力时，引起剩余极化强度变化，在极化面上产生电荷，电荷量的大小与外力成正比关系： d33——压电陶瓷的纵向压电常数， d33 比d11、 d12大的多 所以，压电陶瓷制作传感器灵敏度比压电晶体高。 5.3.1 压电式传感器的工作原理 5.3.1压电式传感器的工作原理 5.3.2压电元件的等效电路及信号测量电路 5.3.3压电式传感器的应用 5.3 压电式传感器 压电传感器在受外力作用时，在两个电极表面将要聚集电荷，且电荷量相等，极性相反。这时它相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为 ε0为真空介电常数；ε为压电材料的相对介电常数