交叉型天线ICP放电及其均匀性讲授.pptVIP

交叉型天线ICP放电及其均匀性 报 告 人: 卢 春 山 一 引言 二 实验 三 结果与讨论 四 结论 一 引 言 平面显示器需要大面积等离子体源的处理,在众多的等离子体源中感应耦合等离子体源（ICP）是一个可选项。在设计ICP时，天线配置是一个关键。传统外置螺旋型天线ICP在放大时，由于承受真空压力，需要增加介质窗的厚度而这导致了射频功率耦合效率的下降；同时，加长的螺旋型天线会引起射频功率额外的损失，也面临着驻波效应引起功率沉降的不均匀等限制因素。 基于上述因素人们设想把外置螺旋型天线改为内置直线型天线来降低介质窗的厚度，改善等离子体的放电特性。相继出现并联式、串联式天线以及双梳型天线 。 引用文献:Low impedance antenna arrangement of internal linear ICP source for large area FPD processing ( S.J Jung,K.N,G.Y.Yeom) 图中显示的是ICP源中应用的传输型天线,两种天线总长为7米.蛇型天线类似串联一端接射频一端接地,第二种相当于天线的并联每一端接射频,另两端接地。 实验发现采用这两种并联式、串联式天线进行放电，虽然介质窗问题得到解决，但是等离子密度并不高。 为了提高等离子体密度，P.Co