第6章位移、速度及加速度检测-王威立剖析.ppt

6.6 码盘式传感器 6.6.3 光电码盘的应用光电码盘测角仪原理图： 1-光源，2-大孔径非球面聚光镜，3-码盘，4-狭缝，5-光电元件 6.7 激光式传感器 6.7.1 激光的特性和稳频方法 一、激光的特性 ① 方向性强 ② 单色性好 ③ 亮度高 ④ 相干性好 二、激光器 按激光器的工作物质可分为以下几类： ①固体激光器：如红宝石激光器、钕玻璃激光器等。 ②气体激光器：如氦氖激光器、二氧化碳激光器、一氧化碳激光器等。 6.7 激光式传感器 ③ 液体激光器：分为无机液体激光器和有机液体激光器等。常用的是前者，波长在一定范围连续可调！ ④ 半导体激光器：出现较晚，较成熟的是砷化镓激光器。 三、激光的稳频方法 较常用的稳频方法是兰姆下陷稳频法。 6.7.2 激光干涉传感器测长原理 激光干涉传感器测长原理实质是光的干涉原理，常用的是迈克尔逊双光束干涉系统（示意图见p.255）。 测长的基本公式： （n为空气折射率） 6.8 磁电感应式速度传感器 磁电感应式传感器也称为感应式传感器或电动式传感器，是利用导体和磁场发生相对运动产生感应电动势的原理工作的。只能用于动态测量，工作频率为10~1000Hz。 6.8.1