涂布光阻剂PhotoresistCoating.ppt

 ?LCD基本構造(其斷面如下圖) 導電玻璃材料 就是在普通玻璃(不導電)的一個膠面層鍍上透明導電膜的玻璃.目前常用的導電玻璃是氧化銦,氧化錫玻璃,通常簡稱ITO玻璃,在生產過程中,每片玻璃都必經過万用電表檢 測,導電面為ITO正面,不導電面無ITO面為背面. 一、 ITO玻璃的結构,如圖1 ° 二、LCD制造用的ITO導電玻璃規格 玻璃厚度: 0.5mm 0.7mm 1.1mm 玻璃面積: 14 * 16 (或355.6mm * 406.4mm)\300*350 SiO2 阻擋層: 200 ~ 500A° (1 A°= 10 –10米 ) ITO層厚: 250 ~ 2000 A° SiO2 絕緣層厚: 500 ~ 1000 A° ITO導電玻璃的主要技術 透光率8% 方塊電阻R R 10Ω 、15Ω、30 Ω 、80 Ω 相對R 越小越好 若R 10Ω/ 膜厚1000 ~ 2000 A° R 100---300Ω/ 膜厚200---300 A ITO玻璃的技術要求 平整度好,一般要求平整度0.5um/20mm 机械強度与化學抗蝕性能,ITO層對玻璃(SiO2)表面的粘附力要強,不易脫落,抗划傷強.ITO膜能抗強鹼,但易被酸腐蝕. 光刻膠性能的主要指標. 感光度