沈航传感与测试技术3.1;3.2.1电参量型-电阻式重点.pptVIP

小 结 思考题 传感器的定义及组成如何？ 电参量型传感器有哪些？ 电阻型传感器有哪些？ 电阻应变式传感器的原理及应用？ * * 热电阻传感器 (2) 半导体热敏电阻传感器（热敏电阻） 利用半导体材料的电阻值随温度变化而变化的特性。 热敏电阻按电阻值随温度变化的特性可分为三种类型： 正温度系数(PTC) 0 40 80 120 160 200 100 102 104 106 温度/℃ 电阻/Ω 负温度系数(NTC) 正温度系数(PTC) 临界温度系数(CTR) 负温度系数(NTC) 临界温度系数(CTR) PTC型主要用于过热保护，定温控制，或作限流元件使用。 NTC型具有很高的负温度系数和较大的温度敏感范围，既可用作温度测量，也可作温控器件。 CTR型热敏电阻具有开关特性，因而主要用作温控开关。 在温度测量中，主要采用NTC和PTC型热敏电阻，其中NTC型热敏电阻应用最普遍。 热敏电阻与金属热电阻比较的特点： 电阻温度系数大，灵敏度高，约为热电阻的10倍； 结构简单，体积小，可以测量点温度； 电阻率高，热惯性小，适宜动态测量； 电阻值与温度变化呈非线性关系，需进行线性化处理； 稳定性与互换性差。 * * 电阻输出型半导体传感器 利用半导体材料的各种物理效应可以把一些物理量、化学量和生物量的变化转换为便于处理的电信号，从而制成各种半导体式传感器。半导体传感器都是物性型传感器。 下面介绍几种典型的电阻输出型半导体传感器： 扩散硅压阻式传感器 磁敏电阻 电阻型气敏器件 湿敏电阻 * * 电阻输出型半导体传感器 扩散硅压阻式传感器 利用半导体工艺中的扩散技术，将敏感元件（半导体应变片）和应变材料（基底）合二为一，制成扩散型压阻式传感器。这类传感器的应变电阻与基底是同一块材料，通常是半导体硅，因此统称为扩散硅压阻式传感器。 扩散硅压阻式传感器的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。 * * 电阻输出型半导体传感器 扩散硅压阻式传感器 扩散硅压阻式传感器是典型的物性型传感器。 压阻式传感器与半导体应变片的异同点： 相同点：都是基于半导体材料的压阻效应，都属于物性型传感器。 不同点：安装方式不同：半导体应变片通过粘贴的方式将灵敏栅贴于被测试件（弹性体），因此其高频特性较差，不适于高频的动态检测；压阻传感器是通过扩散技术将灵敏栅和弹性体融为一体。这种传感器灵敏度、分辨力高，因无需胶接，因此其动态性能较半导体应变片大大改善，可用于加速度和振动检测。 应用：用于静、动态压力测量，或可以转化为压力监测的其他物理量的测量。 * * 电阻输出型半导体传感器 磁敏电阻 磁敏电阻是利用磁阻效应制成的一种磁敏元件。 磁阻效应：将一载流导体置于外磁场中，其电阻值随磁场而变化的现象称为“磁敏电阻效应”，简称“磁阻效应”。 * * 电阻输出型半导体传感器 磁敏电阻 磁阻效应与材料性质、几何形状有关。若考虑形状的影响，其长宽比(L/b)越小，则磁阻效应也越明显。 圆盘形磁敏电阻的磁敏效应最强，圆盘的中间和边缘处为两电极。这种圆盘形磁阻器叫做科尔比诺圆盘，这时的效应叫做科尔比诺效应。 磁敏电阻可以探测各种磁场外，还可制成各种位移检测器、角度检测器、功率计、安培计、交流放大器和振荡器等。 * * 电阻输出型半导体传感器 电阻型气敏器件 气敏传感器是一种将检测到的气体成分和浓度转换为电信号的传感器。按照半导体变化的物理特征，可分为电阻型和非非电阻型两类半导体气敏传感器。 电阻型气敏传感器是利用敏感元件吸附气体后电阻值随着被测气体的浓度改变来检测气体的浓度或成分。 结构：半导体式气敏元件一般由敏感元件、加热器和外壳三部分组成。 分类：按其结构可分成烧结型、薄膜型和厚膜型三类。 图3.15 半导体式传感器的器件结构 (a)烧结型 电极 氧化物半导体 加热器 玻璃（尺寸约1mm，也有全为半导体的） (b)薄膜型 3mm 0.5mm 0.6mm 加热器 3mm 绝缘基片 电极 (c)厚膜型 7 3 3 0.5 （单位mm） 样品 Pt电极 氧化铝基片 器件加热用的加热器 （印制厚膜电阻） 应用：防灾报警，如液化石油气、天然气、城市煤气、煤矿瓦斯以及有毒气体等的报警器；也可用于大气污染监测；以及在医疗上用于对O2、CO等气体的测量；生活中则用于空调机、烹调装置、酒精浓度探测等。 * * 电阻输出型半导体传感器 湿敏电阻 湿度是指大气中所含水蒸气量。 湿度有三种描述方法：绝对湿度（kg/m3 ）、相对湿度（ %RH ）和露点（ ℃）。 氯化锂湿敏电阻 利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成。 阻值随环境相对湿度的改变而变，实现对湿度的测量。 半导瓷湿敏电阻 半导瓷材料主要是不同类型的金属氧化物，按其电阻率随湿度的增加是增大或