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第 4 章 精 密 光 學 元 件 技 術 發 展 與 應 用 趨 勢 4 - 1 第 4 章 精密光學元件技術發展與應用趨勢 光 學 元 件 乃 是 發 展 上 百 年 的 產 業 ， 其 學 理 與 生 產 技 術 的 發 展 頗 為 成 熟 。 然 而 近 年 來 微 機 電 (MEMS) 與 奈 米 技 術 (Nano Technology) 的 進 步，開 啟 了 奈 米 光 學 元 件 之 領 域 。而 近 年 能 落 實 在 產 業 技 術 方 面 ， 最 為 人 所 注 目 的 是 液 態 透 鏡 技 術 的 發 展 。 液 態 透 鏡 在 光 電 協 進 會 的 年 度 報 告 裡 已 有 敘 述 。 而 本 冊 技 術 發 展 介 紹 則 介 紹 玻 璃 模 造 技 術 進 展 ， 和 微 小 鏡 片 陣 列 ， 以 及 特 殊 的 負 折 射 率 現 象 。 4-1 玻璃模造技術之進展 玻 璃 模 造 為 一 項 替 代 傳 統 研 磨 拋 光 之 鏡 片 製 造 法 ， 例 如 非 球 面 鏡 片 可 以 經 濟 性 地 由 模 造 法 製 成 。 致 於 精 密 的 小 玻 璃 鏡 片 元 件 可 由 耐 熱 材 料 ， 例 如 碳 化 物 合 金 的 模 具 來 製 造 出 來 。 這 樣 的 模 具 必 須 經 過 精 密 地 加 工 處 理 ， 而 鏡 片 陣 列 的 模 具 需 要 更 多 的 車 床 加 工 。 玻 璃 模 造 的 製 程 顯 然 是 需 要 一 個 更 簡 單 的 方 法 。 金屬孔洞作為模造玻璃之模具 俄 亥 俄 州 立 大 學 的 團 隊 開 發 了 一 種 玻 璃 鏡 片 模 造 的 技 術 ， 它 僅 由 一 片 中 心 有 洞 的 金 屬 所 組 成 （ 或 者 金 屬 片 上 有 很 多 形 成 陣 列 的 洞 ） 。 模 具 被 壓 到 一 個 加 溫 至 轉 換 溫 度 以 上 的 玻 璃 中 ， 玻 璃 便 會 凸 起 進 入 洞 穴 中 。 玻 璃 表 面 的 形 狀 決 定 在 成 型 的 壓 力 （ 如 圖 4-1-1 ） 與 鬆 弛 的 過 程 。 若 條 件 是 正 確 的 話 ， 玻 璃 會 凸 起 一 個 球 形 。 意 即 在 金 屬 中 製 作 一 個洞，作為在玻璃模造之模具。當玻璃被加溫到轉換點 以 上 的 溫 度 ，模具便壓入到玻璃當中，促使玻璃凸起到洞穴裡。洞 穴 的 邊 緣 可 以是尖銳形狀，或可以有一個弧度，可以決定玻璃模造 的形狀。 第 4 章 精 密 光 學 元 件 技 術 發 展 與 應 用 趨 勢 4 - 2 圖 4-1-1 玻璃模造壓製過程 資料來源： 俄 亥 俄 州 立 大 學 研 究 人 員 分 別 試 用 了 大 直 徑（ 3 到 4 mm ）和 小 直 徑（ 小 於 1mm ） 的 洞 穴 ， 以 及 有 銳 角 的 凹 槽 。 在 初 期 的 實 驗 中 ， 一 個 6.53mm 直 徑 的 塊 狀 BK7 光 學 玻 璃 （ 或 鈣 鈉 玻 璃 ） 被 加 溫 到 黏 稠 狀 態 ， 然 後 被 放 在 模 具 和 一 金 屬 平 板 間 壓 製 。 起 初 玻 璃 凸 起 到 所 想 要 的 球 形 ， 而 當 施 加 更 大 的 壓 力 時 ， 玻 璃 便 會 被 擠 壓 到 洞 穴 裏 ， 接 觸 模 具 而 使 玻 璃 變 形 成 鏡 片 。 鈣 鈉 玻 璃 鏡 片 可 在 680°C 和 570 kPa 下，由 一 個 3.58mm 直 徑 的 洞 穴 壓 製 、 退 火 、 成 型 。 較 小 的 鏡 片 則 可 由 Sumita 低 溫 模 造 玻 璃 所 製 成 的 ， 它 有 一 285°C 的 玻 璃 轉 換 溫 度 ， 並 可 在 約 340°C 溫 度 下 成 型 的。洞 穴 邊 緣 的 平 滑 性 和 精 準 度 是 關鍵，因 可 以 加 快 成 型 的 速 率 。 利 用 這 些 實 驗 結 果 ， 針 對 模 具 和 玻 璃 的 特 性 ， 以 及 各 種 模 造 的 條 件 下 ， 研 究 人 員 可 以 發 展 出 可 靠 的 理 論 基