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超声波加工技术 制造技术的发展传统制造技术　　　先进制造技术 制造业的主要任务： 　制造人类社会在生产和生活中所需的一切产品。 目录 一：超声波加工的基本原理和特点。 二：超声波加工设备及其组成部分。 三：超声波加工速度、加工精度、表面质量及其影响因素. 四：超声波加工的应用。 一．超声波加工的原理与特点 1) 加工原理 超声波加工是利用振动频率超过16 000 Hz的工具头，通过悬浮液磨料对工件进行成型加工的一种方法，其加工原理如图1所示 加工原理 当工具以16 000 Hz以上的振动频率作用于悬浮液磨料时，磨料便以极高的速度强力冲击加工表面；同时由于悬浮液磨料的搅动，使磨粒以高速度抛磨工件表面；此外，磨料液受工具端面的超声振动而产生交变的冲击波和“空化现象”。 空化现象：P86. 图1 超声波加工原理图 这些因素使工件的加工部位材料粉碎破坏，随着加工的不断进行，工具的形状就逐渐“复制”在工件上。由此可见，超声波加工是磨粒的机械撞击和抛磨作用以及超声波空化作用的综合结果，磨粒的撞击作用是主要的。因此，材料愈硬脆，愈易遭受撞击破坏，愈易进行超声波加工。 旋转超声加工机床 超声波加工样品　　　旋转超声加工是一种复合加工方法，它将金刚石工具的优良切削性能与工具的超声频振动结合起来，是加工硬脆材料的一种较好方法，具有良好的应用前景。 超声波抛光机 2)超声波加工的主要特点 (1) 适合于加工各种硬脆材料。玻璃、陶瓷、石英、硅、玛瑙、宝石、金刚石等，也可以加工淬火钢和硬质合金等材料，但效率相对较低。 （2）工具材料较软，故易于制成复杂的形状。 (3) 加工时宏观切削力很小，不会引起变形、烧伤。表面粗糙度Ra值很小，可达0.2 μm，加工精度可达0.05～0.02 mm，而且可以加工薄壁、窄缝、低刚度的零件。 2)超声波加工的主要特点 (4) 加工机床结构和工具均较简单，操作维修方便。 (5) 生产率较低。这是超声波加工的一大缺点。 二 超声波加工设备及其组成 1）超声波加工装置如图2所示。尽管不同功率大小、不同公司生产的超声波加工设备在结构形式上各不相同，但一般都由高频发生器、超声振动系统(声学部件)、机床本体和磨料工作液循环系统等部分组成。 图二 超声波加工装置 超声波设备的组成 2）(1)超声波发生器：将50Hz工频交流电转变为有一定功率输出的超声频电振荡，以提供工具端面往复振动和去除被加工材料的能量。 基本要求：输出功率和频率在一定范围内连续可调，最好具有对共振频率自动跟踪和自动微调的功能。还要求结构简单、工作可靠，价格便宜和体积小等。 （2）超声波振动系统：超声波振动系统的作用是把超声频电振荡转变为机械振动，是工具端面获得高频率及一定振幅的振动，由换能器、振幅扩大棒及工具组成。 (3) 机床本体和磨料工作液循环系统 超声波加工机床的本体一般很简单，包括支撑声学部件的机架、工作台面以及使工具以一定压力作用在工件上的进给机构等；磨料工作液是磨料和工作液的混合物。常用的磨料有碳化硼、碳化硅、氧化硒或氧化铝等；常用的工作液是水，有时用煤油或机油。磨料的粒度大小取决于加工精度、表面粗糙度及生产率的要求。 三：超声波加工速度、加工精度、表面质量及其影响因素. 1）加工速度及其影响因素 影响加工速度的主要因素有工具的振动频率、振幅、工具作用在工件上的静压力、磨料种类和粒度、磨料悬浮液浓度、供给及循环方式、工具与工件材料、加工面积和加工深度等。 2）加工精度及其影响因素 超声波加工的精度。除受机床、夹具精度影响之外，主要与磨料粒度、工具精度及其磨损程度、工具在横向振动的大小、加工深度、被加工材料性质等因素有关。 3）表面质量及其影响 超声波加工具有较好的表面质量，不会产生表面烧伤和表面变质层。 超声波加工的表面粗糙度值也较小，一般可达Ra=1～0.1um。超声波加工的表面粗糙度取决于每颗磨粒每次撞击工件表面后留下的凹痕大小，它与磨粒的直径、被加工材料的性质超声波振动的振幅以及磨料悬浮工作液的成分等有关。 四：超声波加工的应用。 超声波加工的生产率虽然比电火花、电解加工等低，但其加工精度和表面粗糙度都比它们好，而且能加工半导体、非导体的脆硬材料，如玻璃、石英、宝石、锗、硅甚至金刚石等。在实际生产中，超声波广泛应用于型(腔)孔加工(见下图4所示)、切割加工(如图5所示)、清洗(如图6所示)等方面。 图四 ：超声波加工的型孔、腔孔类型 2）超声波切割 对于普通机械加工切割脆硬的半导体材料很困难的，则采用超声波加工较为有效。 对于难以用普通加工方法切割的脆硬材料如陶瓷、石英、硅、宝石等用超声波加工具有切片薄、切口窄、精度高、生产率高、经济性