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工具機技術專輯 發展尚未成熟，目前僅有部分廠家生產少量精度較 關鍵詞 高機種，於質於量皆有相當大的努力及進步空間。 有鑑於此，工研院機械所以 A+工具機技術移轉計 ．次微米 Sub-Micron 畫，與德國先進研發單位接軌，將次微米工具機由 ．液靜壓 Hydraulic 設計製造組裝以及測試等階段，引領國內工具機廠 ．精密組裝 High Precision assembly 實地參與每個階段的討論，了解德國先進研發單位 在 A+工具機製作過程中的重要考量因素以及如何實 現目標精度，學習德國工具機製作技術以及工匠技 摘要 藝的精神。本文將來針對次微米加工機技術移轉計 畫探討國內外技術未來發展方向。 次微米工具機在近年來國際工具機大展中，受 限於展場加工環境，即便有次微米工具機展出但是 大多採用靜態展示為主，雖然產品展出的能見度不 前言 高，但是根據光學應用領域對高精度模具加工的要 求提升，產品的微小化、精密化與一體化的重要需 一、A+工具機發展現況 求以及國際先進工具機廠許多型錄資料看來，次微 精密加工技術在近年來幾次工具機大展中，已 米工具機近年來在國際工具機大廠中，確實投入相 漸漸成為發展重點，日本 YASDA 、Makino 、Roku 當大的研發能量，並已經成為未來工具機市場上重 Roku 、Sodick 以及德國Kern 、R?ders 等工具機廠， 要的決戰點，反觀國內於超高精度的次微米加工機 都以研發超精密工具機為主要方向，一方面除了作 │ │ 2010.03 │3 工具機技術專輯 技術上的宣告，同時也將工具機精密加工由微米推 入之次微米加工設備與結構熱平衡技術，建立國內 昇到次微米甚至奈米級的境界，工具機基礎技術為 未來在相關領域的技術，透過超精密工具機技術的 工業之母，一切產業所需之設備，都是由工具機所 建構產生引導作用，將可促進國內工具機的品質提 製造加工的零件，隨著TFT LCD 產業在高精度模具 升。 的需求，次微米加工已經成為國際工具機大廠在技 次微米超精密加工設備，其主要的結構特色為 術領域以及市場競爭的下一個重點。 高剛性與高穩定特性。綜觀國際工具機大廠所發展 次微米光學模具加工機，主要之應用領域為超 之次微米加工機，歸納如表一，可知：A