：太阳电池工艺探讨.pptx

太阳能电池工艺 目录 一：前言 二：太阳电池的结构 三：太阳电池片的生产工艺流程 发展现状 全球太阳能电池产业在1994—2004年里增长了17倍，近五年平均年增长率超过50%。目前，太阳能电池市场竞争激烈，欧洲和日本领先的格局已被打破。尽管主要销售市场在欧洲，但太阳能电池的生产重镇已经转移到亚洲。自2007年，中国内地和中国台湾分别成为太阳能电池世界第一和四大生产地。现阶段，中国内地和中国台湾太阳能电池产业已经能够占到全球产量的60%左右。 前言 太阳电池的历史 前言 1839年法国实验物理学家贝克勒儿发现了光生伏特效应 1941年奥尔在硅上发现了光伏效应 1954年恰宾和卡尔松等人在贝尔实验室制成了光电转换效率达6% 的世界上第一块实用硅太阳电池，标志着太阳电池研制工作的重大进 展 1959年第一个光电转换效率5%的多晶硅太阳电池问世 1960年硅太阳电池发电首次并入常规电网 1975年美国科学家制作出非晶硅太阳电池 80年代初，太阳电池开始规模化生产 太阳电池按材料分类 太阳电池—将太阳能直接转换为电能的半导体器件 ★ 种类 ★硅太阳电池 1） 硅太阳电池 1）单晶硅电池 2） 化合物太阳电池 2）多晶硅电池 3） 染料敏化电池 3 ) 非晶硅薄膜电池 4） 硒光电池 4）多晶硅薄膜电池 前言 前言 光生伏特效应：是指半导体在受到光照射时产生电动势的现象。 化合物太阳电池：化合物半导体太阳能电池，是发电元件(电池单元)的半导体材料不使用硅、而是使用多种物质的太阳能电池。 染料敏化电池：主要是模仿光合作用原理，研制出来的一种新型太阳电池，其主要优势是：原材料丰富、成本低、工艺技术相对简单，在大面积工业化生产中具有较大的优势，同时所有原材料和生产工艺都是无毒、无污染的，部分材料可以得到充分的回收，对保护人类环境具有重要的意义。 单晶与多晶硅片 单晶和多晶硅片的生产工艺不一，多晶是正方的，单晶硅片的四个角是有弧度的，准方片 对于成品电池更好区分： 单晶电池表面状态均一，而多晶表面有花纹。 尺寸（mm）：103×103, 125×125，150×150,156×156 太阳电池的结构 单晶硅 多晶硅 太阳电池的结构 多晶硅电池 太阳电池的结构 太阳电池的工作过程 —光生伏特效应 吸收光子，产生电子空 穴对 电子空穴对被内建电场 分离，在PN结两端产生电 势 将PN结用导线连接，形 成电流 在太阳电池两端连接负载， 实现了将光能向电能的转换 太阳电池的结构 太阳能电池片的生产工艺流程 太阳能电池片的生产工艺流程 制绒 扩散 等离子刻蚀 丝网印刷 PECVD 去磷硅玻璃 烧结 测试分选 组件 制绒 单晶： 制绒：NaOH、Na2SiO3、IPA（异丙醇） 清洗：HCl、FH 多晶： 制绒： HNO3、HF 清洗： HCI 、 HF 制绒的作用：减少光的反射 太阳能电池片的生产工艺流程 制绒原理 Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2↑ Si+HNO3+HF→H2[SiF6]+NO2↑+H2O IPA：消泡剂 Na2SiO3：控制反应速度 HCl：氯离子能与Pt2+ 、 Au3+ 、Ag+ 、 Cu+ 、Cd2+ 、Hg2+ 等金属离子形成可溶于水的络合物，达到去除硅片表面的金属离子的作用。 HF：去除硅片表面的硅酸钠和氧化物 SiO2+6HF→H2[SiF6]+H2O 太阳能电池片的生产工艺流程 扩散 扩散的目的：形成P-N结（在P型半导体表面参杂五价元素磷在硅表面形成P-N结） 扩散装置示意图： 太阳能电池片的生产工艺流程 扩散原理 POCl3在高温下（＞600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），有充足的氧气时，其反应式如下： POCl3+O2→P2O5+Cl2 生成的五氧化二磷在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅和磷原子，反应式如下： 2P2O5+5Si=5SiO2+4P↓ 太阳能电池片的生产工艺流程 等离子刻蚀 目的：去除边缘PN结，防止上下短路 等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性