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2017-03-24 发布于湖北
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CRYSTALCOLDCATHODECOMBINATIONGAUGE測定範囲1.0101.010Pa.pdf

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CRYSTALCOLDCATHODECOMBINATIONGAUGE測定範囲1.0101.010Pa

クリスタル/コールドカソードコンビネーションゲージ CC-10 CRYSTAL/COLD CATHODE COMBINATION GAUGE -7 5 測定範囲: 1.0 ×10 ～ 1.0 ×10 ［Pa］機能 ?大気から高真空まで測定可能（自動切換え） ?アナログ出力： 10[V]F.S. log出力または複合出力から選択 ?RS485ディジタル通信 ?セットポイント： 3点 ?電源：DC 22～26[V] Max 8[W] ?外形寸法 94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]（NW25) 94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]（ICF70) CC-10 主な用途 CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力範囲（1.0×10-7～1.0×105 ［Pa］）の連続 ?真空蒸着装置測定を可能としたコンビネーションゲージです。大気圧から1Paまではクリスタルゲージ、1Paから ?光学薄膜生成装置 -7 10 Paまではコールドカソードゲージを使用し測定します。 ?加速装置とUHV研究センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム ?電子デバイス製造装置制御が行えます。 ?光電子工学のデバイス製造装置また、CC-10はディジタル通信RS485を標準装備しております。 RoHS 指令適合東京電子株式会社 TOKYO ELECTRONICS CO.,LTD. http://www.toel.co.jp MODEL CC-10 センサーの特長仕様