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愛総研?研究報告 45 第2号平成 12年 超高速プラズマ照射とレーザー超急冷による表面改質 SurfaceModificationbyUltraHighSpeed PlasmaSprayingandbyLaserRapidQuenching 井村徹へ 広瀬富佐雄*へ 薄葉 \91*ト帥 τbruImura，FusaoHirose， ShuUsuba Abstract:Plasmasprayingexp巴rimentswereconductedbyusingarailgun.By supplyingapulsedhighcurrentofmore 白an100kA.Wplasmajetof1.9四 5.0kmIsin exitvelocityand200atm泊peakpressurewasproduced，Coatingmadebyせleplasma 住atewasabout10μm泊白ickness.回ghsp巴edspraying jetofW onasteelsubs exper 凶lentswerealsoconductedin th巴casesofWsprayingtoAl，Cu，PZSandAl0， 2 3 TisprayingtosteelandAl，andAlTisprayingtosteelandCu.Anonequilibriurnhard phasehasbeencons 往uctedin仕lesurfac巴layerofsubstrate.Asanothera悦 mpt，laser quenchingmethodhasbeenappliedtoprep紅 esurfac巴 modification.Amorphous F 巴78B13Si9ribbonwassolderedona.stainlessst閃 1shaftandlaserbeamscanned也巴 surface，expectingtoreformamorphousF巴:78B3Si9so食magneticlay巴ronthesurface 1 byrapidm巴ltingandquenching.Noncontact旬petorque sensorhasb巴enconstructed byusing白1Stechniqu巴succ巴ssfully. 1.はじめに 次いでレーザービームでその表面を走査することに よる瞬間溶融と趨急冷で、アモルファス軟磁性層の 種々の超急冷法の発達により、非品質相とか非平 再生を行ない、非接触型トルクセンサーの製作に利用 衡相が得られ、通常の安定相とは異なったそれらの する試みが行なわれた。 特性の利用が計られるようになってきた。事実、硬 さや耐食性や耐摩耗性等の要求される材料表面の札 2.実験装置と方法 質にも利用された例が見られる様になってきている。 との報告では、著者らが行なった二つの超急冷技術、 2-1.実験装置 即ち、プラズマ?スプレイ法とレーザー急冷法を利 用した表面改質に付いて述べることにする。両者共 プラズマ溶射実験に用いた通称レール