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教員養成課程 理科教育専攻（理科教育講座） 深澤優子 斜入射高速イオンの散乱パターンから探る アルカリハライドのDIET表面モフォロジー はじめに ? 電子線照射により欠陥が生成したイオン結晶表面 KBrなどのアルカリハライド結晶表面に電子線を照射すると表面の原子が脱離する （電子遷移誘起脱離 DIET ： desorption induced by electronic transitions） 脱離の初期段階に[100],[010]のステップを辺とする単原子深さの矩形ピット（穴）が生成 ※ステップ???原子レベルの段差 微細化が進むLSIやMEMSなど電子デバイスにおいて原子サイズやナノ～マイクロ単位の微細加工のテンプレートとしての可能性に期待 ? 高速イオンビームチャネリング法を用いた表面分析 イオンチャネリング 表面軸チャネリングの応用 散乱パターン（散乱イオンの分布） イオンを結晶にほぼ平行に入射したとき，結晶の原子列の間（チャネル） 表面軸チャネリングが イオンが結晶表面の原子列にほぼ平行に入射したと を原子列との小角散乱を繰り返しながら進む 起きると，イオンの運 き（表面軸チャネリング）イオンは結晶軸の方向を中心 動が原子列の間に制 Auger Electron Emission とした円弧上に散乱する 入射方向が 結晶軸に平行 軸チャネリング 限されるため，結晶原 X-Ray Emission 散乱イオンの分布 散乱パターン 結晶面に平行 面チャネリング 子による大角度の弾 Backscattering Ion 実験では試料の下流に蛍光板を Nuclear Reaction 置いて観察 性散乱や結晶原子の Light Emission [001] φ o 表面を面チャネリングの片面とみなす