筒形高功率脉冲磁控溅射源的开发与放电特性.pdfVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 18 (2016) 185202 筒形高功率脉冲磁控溅射源的开发与放电特性 肖舒 吴忠振 崔岁寒 刘亮亮 郑博聪 林海 傅劲裕 田修波 潘锋 朱剑豪 1) (北京大学深圳研究生院新材料学院, 深圳 518055) 2)(香港城市大学物理与材料科学系, 香港 999077) ( 2016 年5 月26 日收到; 2016 年6 月21 日收到修改稿) 高功率脉冲磁控溅射以较高的溅射材料离化率及其所带来的高致密度、高结合力和高综合性能成为物理 气相沉积领域的新宠, 然而其沉积速率低、放电不稳定、溅射材料离化率不一等缺点阻碍了其在工业界的推广 和应用