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扫描电子显微镜知识A—Z SEM 使用的基础知识 SEM 使用的基础知识 扫描电子显微镜 （SEM）商品化至今已经过了 40 多个年头，其性能也取得了显著的进歩。现在使用的 SEM 种类繁多，性能、功能差异也 很大。要熟练使用 SEM，首先需要了解它们各自的特征，充分理解各种衬度形成的原理等，本资料从这一角度出发以 SEM 操作者及未来用 户为对象，以 SEM 的原理为中心，总结了样品制备、元素分析等基本内容， 关于实际的观察方法及图像缺陷等问题，请参考“扫描电子显 微镜观察手册”。 SEM 的构造 如何提高分辨率 荷电现象及其影响 ?仪器的结构 ?分辨率和分辨能力 ?什么是荷电现象？ ?电子枪 ?如何提高分辨率 ?荷电对 SEM 图像的影响 ?透镜的构造 ?如何防止荷电？ ?聚光镜和物镜 电子枪的类型 ?样品台 ?场发射电子枪 样品制备的基础 ?肖特基发射电子枪 ?暴露欲观察的表面和增强反差 ?二次电子检测器 ?图像的显示和记录 ?三种电子枪的特征 ?样品的固定 ?镀膜 ?真空系统 物镜的种类和性能 ?生物样品的制备 ?通用型物镜 SEM 的放大倍率 ?强励磁物镜获得高分辨率 低真空SEM SEM 的景深 ?物镜光阑的作用 元素分析的基础 为什么能看见图像？ SEM 的实际分辨率 ?X 射线的产生 ?电子和物质的相互作用 ?X 射线分光谱仪 ?二次电子