电气测试第四章变磁阻式传感器技巧.ppt

影响阻抗Z的变量： 1、间距δ， δ M Z 可用于检测位移，振动等物理量 2、金属板的电阻率ρ或金属板的磁导率μ 可用于材质鉴别或无损探伤。 特点：可用于动态非接触测量，测量范围0~1500um，分辨 力可达1um，且结构简单方便可靠。 广东机电职业技术学院 变磁阻式传感器也叫电感式传感器 电感式传感器是基于电磁感应原理，它是把被测量(力、位移)转化为电感量的一种装置。 分类: 变磁阻式传感器 电感式（自感型） 电涡流式 变压器式（互感型） 变磁阻式传感器 变磁阻式传感器 第一节 电感式—自感型 可变导磁面积型 差动型 一、原理:电磁感应 图4 – 1 电感式传感器 变磁阻式传感器 线圈中电感量可由下式确定： 式中, Rm为磁路总磁阻。 （4-1） 变磁阻式传感器 气隙很小，可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损， 则磁路总磁阻为 （4-2） 通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻， 即 则式（4-2）可写为 联立式（4-1）及式（4-4）， 可得 （4-3） （4-4） （4-5） 变磁阻式传感器 上式表明：当线圈匝数为常数时，电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数，改变δ或S0均可导致电感变化，因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和变气隙面积S0的传感器。 　　目前使用最广泛的是变气隙厚度式电感传感器。  变磁阻式传感器 二、 输出特性 L与δ之间是非线性关系， 特性曲线如图4-2所示。 图4-2 变隙式电压传感器的L-δ特性 变磁阻式传感器 可见：变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾，因此变隙式电感式传感器适用于测量微小位移的场合。 灵敏度为 （4-15） 变磁阻式传感器 1-铁芯； 2-线圈； 3-衔铁 当衔铁向上移动时，两个线圈的电感变化量分别为L1、L2 　　为了减小非线性误差，实际测量中广泛采用差动变隙式电感传感器。 图4-3 差动变隙式电感传感器 变磁阻式传感器 结论： ①差动式为简单式电感传感器灵敏度的2倍。 ②非线性减小。简单式电感传感器非线性误差 ③克服温度等外界共模信号干扰。 变磁阻式传感器 三、测量电路 图4-4 交流电桥测量电路 1、交流电桥式测量电路 变磁阻式传感器 0 图4-5 变压器式交流电桥 2. 变压器式交流电桥 变磁阻式传感器 可知：衔铁上下移动相同距离时，输出电压相位相反，大小随衔铁的位移而变化。由于是交流电压， 输出指示无法判断位移方向，必须配合相敏检波电路来解决。 当传感器衔铁上移：如Z1=Z+ΔZ，Z2=Z－ΔZ， 当传感器衔铁下移：如Z1=Z－ΔZ，Z2=Z+ΔZ， 此时 变磁阻式传感器 3. 谐振式测量电路 分为：谐振式调幅电路和谐振式调频电路。 图4-6 谐振式调幅电路 此电路灵敏度很高， 但线性差，适用于线性度要求不高的场合 变磁阻式传感器 图4-7 谐振式调频电路 f与L具有严重的非线性关系 变磁阻式传感器 电感式压力传感器结构图 电感压力传感器 工作原理:互感现象. Ew Eout W W1 W2 Eout x -x 第二节 差动变压器式传感器 一、结构与工作原理 变磁阻式传感器 零点残余电压 二、等效电路 差动变压器等效电路 r1 变磁阻式传感器 1 2 3 问题：差动变压器的输出是交流电压(用交流电压表测量，只能反映衔铁位移的大小，不能反映移动的方向); 三、测量电路 (1) 差动整流电路 变磁阻式传感器 （2）相敏检波电路 变磁阻式传感器 U0 U01 U02 UL 差动变压器式加速度传感器原理图 第三节 电涡流式 变磁阻式传感器 原理:涡流效应 原线圈的等效阻抗Z变化： 线圈的等效电感为： M为互感系数，与 成反比 广东机电职业技术学院