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扫描电子显微技术 SEM简介扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）,SEM是利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描，与样品相互作用产生各种物理信号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。最常用来观察样品表面行貌（断口等）。它有如下优点： 1.高的分辨率 2.有较高的放大倍数 3.有很大的景深 4.试样制备简单 5.配有X射线能谱仪装置 舌头上的味蕾 金颗粒样品场发射扫描照片 分叉头发的扫描图 1. SEM 基本原理 最上边电子枪发射出来的电子束，经栅极聚焦后，在加速电压作用下，经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下使电子束在样品表面扫描。 　　由于高能电子束与样品物质的交互作用，结果产生了各种信息：二次电子、背散射电子、X射线、俄歇电子和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应。 3.电子枪 3.1 热发射 电子枪提供一个稳定的电子源，以形成电子束。通常依靠所谓热发射过程从电子源获得这些电子。在该过程中，足够高的温度使一定百分比的电子具有充分的能量以克服阴极材料的功函数而从电子源跑出。 灯丝或阴极有一个半径约为5到100um的V型尖端。用钨或六硼化镧做的灯丝其功函数较低。下面将讨论几种特殊的灯丝。 电子枪灯丝依靠热发射得到的热发射电流密度 ，用Richardson定律表示： 式中 为与材料有关的常数， 为发射温度。 由Langmuir指出，对于高电压来说，电子束亮度的极大值由下式给出： 式中 为阴极表面上的电流密度， 为加速电压，e为电子电荷，k为波尔兹曼常数。 3.1.1 钨阴极 钨阴极是一根直径约为0.01cm的钨丝，弯成发夹形，并有一个半径约为100um的V型尖端。 钨灯丝以热游离式来发射电子。 钨在典型工作温度2700K时，根据Richardson公式计算出 ，式中 由于钨的蒸发，灯丝直径会变小，因此达到工作温度和灯丝饱和所必须的灯丝电流也随灯丝的老化而减少。灯丝寿命也随温度提高而降低。钨灯丝平均寿命约为40～80h 3.1.2 六硼化镧阴极 （1） 六硼化镧的结构 它是一种化合物，其中镧原子包含在硼原子所形成的晶格中。当六硼化镧被加热时，镧原子能够自由的扩散，通过硼的晶格空隙去填补表面因蒸发而失去的材料。镧的作用使六硼化镧有低的功函数。 （2）六硼化镧的优点 当 时，已测量出多晶六硼化镧的功函数约为 2.4eV。这意味着工作温度约为1500K时就能获得与普通钨灯丝相同的电流密度。因而它具有如下优点： （a）、蒸发速率下降，因此与寿命短的发夹式钨灯丝相比，可预期六硼化镧灯丝工作寿命长。 （b）、从Langmuir公式可以看到这两种电子源如果阴极电流密度和加速电压相同，但分别工作在1500K和3000K下，那么，1500K的六硼化镧的亮度将是3000K的钨灯丝亮度的两倍。 （3）六硼化镧的缺点 六硼化镧的化学活性很强，在加热时很容易与几乎所有的元素形成化合物，仅碳和铼除外。这种活性意味着阴极仅能在高真空中工作，因为在压力高于100uPa时，会形成一种特有的紫色氧化物，影响性能。另外，由于工业上只能提供六硼化镧的细小颗粒粉末。因此，为了制成一个有用的阴极组件，需要大量加工处理。 3.2 场发射电子枪 3.2.1 场发射电子枪工作原理 3.2.2场发射电子枪的分类 阴极材料通常由单晶钨制成，场发射电子枪可分为三种： （1）冷场发射式（cold field emission，CFE） （2）热场发射式（heat field emission，HFE） （3）肖特基发射式（schottky emission，SE） 3.2.3场发射扫描电子显微镜的特点 （1） 具有超高分辨扫描图像观察能力（可达1.5nm