激光自混合干涉系统位移测量应用综述.pdf

激光自混合干涉系统位移测量应用综述宰 张书练 刘刚 朱钧 李岩 (清华大学精密仪器测试技术与仪器国家重点实验室 北京 100084) 摘要：文章对激光自混合干涉系统的位移测量研究进展进行了综述。首先对激光自混合干涉 的发展概况进行了介绍，然后着重介绍了基于激光自混合干涉系统的位移测量系统。将基于自混合 干涉的位移测量系统分为条纹计数法、模跳测量法、合成波长测量法、拍频测量法、光回馈水平差 异测量法、分区细分法。条纹计数法最易于实现，系统最简单，但分辨率低，一般为半个光波长。 模跳测量法利用跳模原理进行测量，分为开环和闭环模跳测量法两类，所对应的分辨率分别为40nm 和50nm。合成波长测量法则利用双激光器同时回馈时两激光器功率条纹相位差异实现位移测量，测 量速度和范围相对于传统单激光器相位测量法大大提高。拍频测量法利用光回馈引起激光器频率变 化的现象对位移进行测量，系统的分辨率为5nm。光回馈水平差异测量法巧妙运用透镜实现系统不 同水平的光回馈，实现系统的分辨率为20nm。分区细分法则利用双频激光器中两垂直偏振光功率曲 线交叉变化的特点，对条纹交叉结果进行分区，能实现分辨率为八分之一光波长。同时对各种测量 方法的原理进行了介绍，对各自系统的优缺点也进行了评述。 关键词：自混合干涉；光回馈；位移测量；模跳 1．引言 激光自混合干涉是指在激光应用系统中，激光器输出光被外部物体反射或散射后，部分光反馈 回激光器内，与腔内光相混合后，引起激光器的输出功率变化的现象，因其输出信号与传统的双光 interference)u 束干涉信号类似，故被称为自混合干涉(self-mixing J，同时也可以称作光回馈(optical 象，其在实验中发现一个可移动的外部反射镜能引起激光功率的波动，功率波动的条纹类似于传统 的双光束干涉现象，外部反射镜每移动半个光波波长的位移，激光器功率变化一个条纹，条纹的波 动深度与传统双光束干涉系统可比较。自混合干涉同传统的干涉仪具有相同的相位灵敏度，而其结 构简单、紧凑、易准直，在很多应用场合可以代替传统干涉仪。研究者基于该现象对自混合干涉进 行了大量的研究。激光自混合干涉现在已经广泛应用于形貌测量降引、位移和距离的测量【7删J、速 度和振动测量【2卜33J和线宽测量[34,351等。为了对自混合干涉现象的原理进行解释，人们也建立了相应 的理论模型[1,36-381对自混合干涉中出现的各类现象进行了解释和分析。 o‰醇=孟一 上图为自混合干涉信号下图为外腔反射镜驱动信号 图1传统自混合装置示意图 图2自混合干涉的锯齿波曲线波形 对于传统的自混合干涉系统如图1所利”1，激光器LD输出光束被外界反射物Remote Target部 分返回到激光腔内与腔内光束混合，外界反射物每移动半个光波长的位移，激光器输出功率条纹将 ’田家自然科学基金及清华大学基金资助项目(批准号 产生一个，在一定的光回馈水平下，功率条纹为类锯齿波形状，类锯齿波倾斜方向与物体移动方向 相关，该特点可以直接用来实现判向。典型自混合干涉条纹可见图2…，图2下半部分为物体位移曲 线，上半部分则为对应的自混合干涉条纹曲线。 基于自混合干涉的位移测量系统可以分为条纹计数法【13’14】，模跳测量法【15’161，合成波长测量法 将对各种测量方法的原理进行介绍，同时也将对各系统的优缺点进行评述。 2．条纹计数法[13,14] 自混合干涉系统的光回馈水平由回馈系数C[131决定： eS、／1+a2 ，1 Ln L=一 式中￡=等”蚴； 足——激光器主输出镜反射率； R——外界反射物的反射率； s——外腔长度； ￡一内腔长度：