片上射频磁介质电感的设计与仿真.pdf

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2006 andSimulationof RF MediumInductors Design On-ChipMagnetic ZHANGFan，YANG Chen，LIUFeng，RENTian-ling+，L工ULi—tian (Institute 100084，China) ofMicroelectronics，TsinghuaUniversity，Beijing inductorsare inRFIC．To suitable materials Abstract：On-chippassive required integrate magnetic highly RF could intoRFinductorsisa methodof andsmall—sizeinductors，which promising achievinghigh—quality L reduce maintainandevenraisethe not increasetheinductanceandthereforethesize。but only quality factoras of mediuminductorsare influencesofstructure Q well．Kinds integratedmagnetic designed．The andmaterial oninductor are simulated．Theseresults parameters performancesystematically givedesign instructionstoachieverealsmall—sizeand inductors． high-performance on-chipmagnetic words：on-chipinductor；RFIC；ferrite；simulation Key E队CC：2140，2570A，3120N 片上射频磁介质电感的设计与仿真 张 帆，杨 晨，刘 锋，任天令。，刘理天 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘要：片上无源电感是RFIC中需求很高的器件．将适宜的磁材料引入到射频微电感中，既可有效地提升电感L值，从而 使电感所需面积减小，又能保持甚或提升电感Q值，是实现高性能、小尺寸射频微电感的一种非常有前景的方法．我们设计了 不同结构的磁介质微电感，通过软件仿真研究了电感结构和材料参数变化对电感性能的影响，为研制小尺寸、高性能片上磁 介质电感提供了理论指导． 关键词：片上电感；射频集成电路；铁氧体；仿真 中图分类号：TN402 文献标识码：A 片上无源电感是射频集成电路(RFIC)中需求 组装电感等新型