净化间基础知识讲述.ppt

净化间的定义Cleanroom definition 净化间(C/R)——根据实际需要建立的温度、湿度、气压和脏污都受到适度控制的封闭工作区域。A room in which the air supply, air distribution, filtration of air supply, materials of construction and operating procedures are regulated to control airborne particle concentrations so that appropriate air cleanliness levels can be met. 通常控制标准： 温度：22+/-2 ℃；　　　　　　　　　　 湿度：55+/-10 RH ； 气压：常压略高 。 脏污受控程度按空气传播粒子数（密度）分类。 　 净化间级别Cleanliness level and design types in KF 通常根据空气传播粒子密度，将脏污受控程度分为：Class 10，100，1000，10K等。 Class 100 —— 悬浮在每立方英尺内空气内，颗粒不小于0.5μm（或者0.3μm的）微粒个数不超过100个。 HEPA Fliters Contamination Cont. Control？ 净化间脏污是指存在于净化间内所有对产品合格率和品质稳定性产生不利影响的所有不必要物质。 净化间脏污控制是将对产品合格率和可靠性有不利影响的所有人员、设备、设施、物料等联系考虑的全系统控制。 净化间脏污分类Classification 按物质类别： 微粒类 磁性、非磁性 金属、非金属 化学类 按存在方式： 空中漂浮类 淀积/附着类 气体、液体。 化学类脏污 包括 ： 有机类 离子脏污 净化间脏污的来源 Major source of contamination 人体、工装设备及装配物料带 入。 净化间脏污的 80 % 是从净化间外部带入的！！ 人与物体的移动而产 生。 典型脏污举例 脏污检测常用方法 擦拭（WIPE TEST） 空气粒子数（PARTICLE COUNT） 液体粒子数（LPC）与离子数测试（IC） 挥发性气体与凝结物（OUTGASSING） 不挥发性组分（NVR） 红外光谱（FTIR） DI 水及细菌数测试（BACTERIA） 透射电镜及元素分析（SEM） * * Z z ？！ 什么是净化间和净化间脏污？ Basic Definition about Cleanroom and contamination 为什么要控制净化间脏污？ Why do we need control Cont? 如何控制净化间脏污？ How do we control cont.? 要求、原则、方法。。。 Course Instruction 想一下：0.5μm 有多大？ 无大于5.0 μm颗粒。 大约是头发丝粗细的20分之一。1μm等于百万分子一米，即10-6 净化间通过高效过滤器降尘系统的工作，来维持一定的洁净度，换气次数可以控制室内不同的污染物浓度。（High efficiency particulate air filter having a minimum particle-collection efficiency of 99.97% for 0.3um. Air filters are the key component in ensuring the cleanliness of air in cleanroom) 脏污——是指影响正常状态的那些由外界介入的 不需要的物质，通常是些不良的成分。 生物类（细菌） 还有 通常按脏污物质的化学性质与物理状态来分类脏污 按物质存在状态：