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湿敏电阻结构示意图 氯化锂湿度—电阻特性曲线 氯化锂湿敏元件的优点:滞后小,不受测试环境风速影响, 检测精度高达±5% 缺点:耐热性差,不能用于露点以下测量, 器件性能重复性不理想,使用寿命短 陶瓷式电阻湿敏传感器 通常,用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷。这些材料有ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、 TiO2-MgO-Cr2O3系、Fe3O4等,前三种材料的电阻率随湿度增加而下降,故称为负特性湿敏半导体陶瓷,最后一种的电阻率随湿度增加而增大,故称为正特性湿敏半导体陶瓷 1. 负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 由于水分子中的氢原子具有很强的正电场,当水在半导瓷表面吸附时,就有可能从半导瓷表面俘获电子,使半导瓷表面带负电 如果该半导瓷是P型半导体,则由于水分子吸附使表面电势下降,将吸引更多的空穴到达其表面,其表面层的电阻下降 若该半导瓷为N型,则由于水分子的附着使表面电势下降,如果表面电势下降较多,不仅使表面层的电子耗尽, 同时吸引更多的空穴达到表面层,有可能使到达表面层的空穴浓度大于电子浓度,出现所谓表面反型层,这些空穴称为反型载流子。 它们同样可以在表面迁移而表现出电导特性,使N型半导瓷材料的表面电阻下降 不论是N型还是P型半导体陶瓷,其电阻率都随湿度的增加而下降 2. 正特性湿敏半导瓷的导电机理 正特性湿敏半导瓷的导电机理的解释可以认为这类材料的结构、电子能量状态与负特性材料有所不同。当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时, 导致其表面层电子浓度下降,但这还不足以使表面层的空穴浓度增加到出现反型程度,此时仍以电子导电为主。于是,表面电阻将由于电子浓度下降而加大,这类半导瓷材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。通常湿敏半导瓷材料都是多孔的,表面电导占的比例很大,故表面层电阻的升高, 必将引起总电阻值的明显升高。 Fe3O4半导瓷的正湿敏特性 几种 典型陶瓷湿敏传感器(自学) (1)MgCr2O4-TiO2湿敏元件 氧化镁复合氧化物-二氧化钛湿敏材料通常制成多孔陶瓷型“湿—电”转换器件,它是负特性半导瓷,MgCr2O4为P型半导体,它的电阻率低,阻值温度特性好, MgCr2O4-TiO2陶瓷 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器感湿特性 (2)ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件 ZnO-Cr2O3湿敏元件的结构是将多孔材料的金电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上,并焊上铂引线,然后将敏感元件装入有网眼过滤的方形塑料盒中用树脂固定 ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏传感器结构 陶瓷式电阻湿敏传感器的特点 传感器表面与水蒸气的接触面积大,易于水蒸气的吸收与脱却; 陶瓷烧结体能耐高温,物理、化学性质稳定,适合采用加热去污的方法恢复材料的湿敏特性; 可以通过调整烧结体表面晶粒、晶粒界和细微气孔的构造,改善传感器湿敏特性。 高分子式电阻湿敏传感器 利用高分子电解质吸湿而导致电阻率发生变化的基本原理来进行测量的。 当水吸附在强极性基高分子上时,随着湿度的增加吸附量增大,吸附水之间凝聚化呈液态水状态。在低湿吸附量少的情况下,由于没有荷电离子产生,电阻值很高;当相对湿度增加时,凝聚化的吸附水就成为导电通道,高分子电解质的成对离子主要起载流子作用。此外,由吸附水自身离解出来的质子(H+)及水和氢离子(H3O+)也起电荷载流子作用,这就使得载流子数目急剧增加,传感器的电阻急剧下降。利用高分子电解质在不同湿度条件下电离产生的导电离子数量不等使阻值发生变化,就可以测定环境中的湿度。 高分子式电阻湿敏传感器测量湿度范围大,工作温度在0~50℃,响应时间短(30s),可作为湿度检测和控制用。 (2)电容式湿敏传感器 电容式湿敏传感器是有效利用湿敏元件电容量随湿度变化的特性来进行测量的,通过检测其电容量的变化值,从而间接获得被测湿度的大小。 图15.25 电容式湿敏传感器结构图 电容式湿敏传感器检测范围宽,线性好,因此在实际中得到了广泛的应用 图15.26 电容式湿敏传感器感湿特性 (a) 安装示意图 (b) 电路 图15.27 汽车后窗玻璃自动去湿装置 15.2.3 湿敏传感器的应用 15.28 湿度控制器电路原理图 房间湿度控制器 图15.29 录像机结露检测电路 录像机结露报警控制电路 Academic Seminar * Academic Seminar * 温度这个物理量与人类生活是息息相关。光、声的强度即使增大10%,也不会对人们的感觉有太大的影响,但是空间温度的变化却对人类有较大影响。早在2000多年前,人类就开
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