用于HIT太阳电池的ZAOAgZAO复合透明导电膜优化设计.pdfVIP

晶体硅太阳电池及材料．179． iiii] iIZ l l 优化设计 于建秀1’2，赵雷1’。，周春兰1，李海玲1刁宏伟1，’E-P两彦2，王文静1 (1．中国科学院电工研究所太阳电池技术研究组，北京1001902．河北工业大学材料学院，天津，300130) 摘要 复合透明导电膜的光学特性进行了优化设计。结果表明，在ZAO层的厚度为40nm左右时可以得到最低的可 见光反射率和最高的透过率。Ag层的加入尽管可以提高导电膜的导电性，但会增大对可见光的反射和吸收， 对Ag层需要选择一个折衷厚度，以使对电池性能的改善最大化。在41nm厚的两层ZAO之间插入5nm厚 的Ag，仍然可以保证600m-n左右的光的透过率大于85％。 关键词 ZA0／Ag／ZAO复合透明导电膜；反射率；透过率；优化设计 _·J‘·_●一 I刖 舌 withIntrinsic 日本SANYO公司开发的mT(Heterojunction n。3】。这种太阳电池需要透明导电膜来实现光电流的侧向收集。开发具有高电导率和低光反射率的透明导电膜 对提高HIT太阳电池的转换效率具有重要意义。 光学特性‘撕】。 膜应用到HIT太阳电池上，有希望成为改善电池性能，同时降低成本的有效手段。 学特性进行优化设计，获得三层之间的厚度匹配，以实现最低的可见光反射率和最高的透过率。为在HIT太 阳电池上实际制备ZAO／Ag／ZAO复合透明导电膜提供具体结构参数指导。 2数值计算原理与模型 具体模型如图l中所示。在硅衬底上是非晶硅层，在非晶硅层上是所要研究的ZAO／Ag／ZAO复合透明导电膜。 nm。所采用的各种材料的折射率n和消光系 模拟计算中所采用的单晶硅厚度为300岫，非晶硅层厚度为10 ‘通讯作者：zhaolei@mail．iee．ac．crl 本研究受国家863计划资助(资助项目号：2006AA052405) 。100． 第十届中国太阳能光伏会议论文集 数k如图2中所示。 空气 图1模拟模型图 图2各材料的折射率随波长的变化曲线 3结果与分析 3．1ZAO／Ag／ZAO多层复合透明导电膜反射率模拟 零、将接哒 琴、锝餐岖 图3Ag为3nm复合膜的反射率随ZA0厚度的变化 图4Ag为5nm复合膜的反射率随ZA0厚度的变化 琴 寥 、 、 碍 锝 操 按 岖 岖 图5Ag为7m复合膜的反射率随ZA0厚度的变化图6不同Ag厚度下600m处反射率最低的复合膜的反射谱 图3、4、5给出了在特定Ag层厚度下，反射率与ZAO厚度之间的关系。从中可以看出，要在6(X)-640nm左右 的波段下获得最低反射率，需要有适当厚度的ZAO，并目所需要的ZAO厚度随Ag厚度的增大而增大。为了清楚的 晶体硅太阳电池及