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2017-03-25 发布于未知
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碳纳米材料及其在真空微电子器件中的应用孙卓陈奕卫郭平生陈婷张哲娟王莉莉曹章轶华东师范大学纳米功能材料和器件应用研究中心上海纳晶科技有限公司蔡炳初徐东上海交通大学微米纳米科学技术研究院 Y．Sun NanocsInternational Inc．，NewYork，USA zsun@mail．ecnu．edu．cn Nanostucturedcarbonmaterials emission and如la application ChinaNormal NanotechCenter,East Unwers毋 TechnologyCo．，Ltd． SJla粥槭Nanoking 200062，Ch／na 硒赫ZhongshanRd．3663,Shanghai B．C．Cai,D．Xu Unweary,Shanghai ShanghaiJmowng Y．Sun International Nanocs Inc．，NewYork。USA 摘要：本文从碳蚋米材料。特别是碳蚋米管或纤堆薄膜的的刺备工艺、蛄构性能及其作为发射电子的冷阴极在场发射器件中的应用进行了综述。重点叙述了在新型平面显示If(FED)、节能光潭、压力传感嚣、微波管等器件方面的应用。同时报道了新近研制成功场发射性能优异的高真空封装的FED原翌嚣件。使研制实用化的FED取得了突破。关键字：碳蚋米材料。冷阴极，场发射器件，化学气相沉积。 carbonmaterials carbonnanotubesandfihershavebeenbelieveda8thebestnov· Abstract：Nanostmctured including 88 andmicrowave elcoldcathodeforfieldemission fiat 80urce devices，suchpaneldisplay，light80urce，sensor，X-ray related and arereviewed． fabrication structureand forthe devices amplifier．Theprocess,Inaterialproperties applications words：nanostructured emission Key carbon，coldcathode，fielddevice，chemicalvapordeposition．～、引富纳米科技已从科学研究走向产业化，并产生了具大的经济效益。全球相关产