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传感检测技术及其应用第二篇 典型传感器的原理及其应用技术 第五章 电感式传感器及应用 了解电感式传感器的工作原理; 了解自感式传感器、互感式感传感器和电涡流式传感器的特点; 了解自感式传感器、互感式感传感器和电涡流式传感器的应用 电感式传感器概念和类型 电感式传感器是以电和磁为媒介,利用磁场的变化引起线圈的电感量或互感量的变化,把非电量转化为电量的装置(基于电磁感应原理)。 按照转换方式的不同可分为自感式(包括可变磁阻式与涡流式)和互感式(差动变压器式)两种。 式中Z为线圈的等效阻抗;μ为导体材料的磁导率;σ为导体材料的电阻率;r为线圈和导体的尺寸因子;ω为线圈激励电源的角频率;i为线圈中电流强度;x为线圈与导体间的距离。 如果上式中只有x是变量,其他都不变,则阻抗就是距离x的单值函数,即 Z=f(x) 涡流式传感器可分为高频反射式和低频透射式。 高频(lMHz)激励电流,产生的高频磁场作用于金属板的表面,由于集肤效应,在金属板表面将形成涡电流。与此同时,该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈,引起线圈自感L或阻抗ZL的变化,其变化与距离该金属板的电阻率ρ、磁导率μ、激励电流i,及角频率ω等有关,若只改变距离x而保持其他系数不变,则可将位移的变化转换为线圈自感的变化,通过测量电路转换为电压输出。高频反射式涡流传感器多用于位移测量。 低频透射式涡流传感器的工作原理如图所示,发射线圈ω1和接收线圈ω2分别置于被测金属板材料G的上、下方。 Vs Vin Va Vo Vb Vc Vout Vd Vin超前Vs50° Vin超前Vs140° Vin和Vs反相时 (超前180°) Vs Vin Va Vo Vb Vc Vout Vd (2)差动整流电路 (3)单片LVDT信号处理电路 LVDT(Linear variable differential transformer)的单片集成信号处理IC有AD598、 AD698 §5-3 电感式传感器应用 一、电感式传感器应用 1.电感式位移式传感器 3.差动变压器测惯性加速度 2.差动变压器测速 5.三维电感测头 4.磨加工连续表面主动测量仪 §5-4 电涡流式传感器 电涡流式传感器是一种建立在电涡流效应(集 肤效应)原理上的传感器。 1.电涡流效应 置于交变磁场中的金属导体,当交变磁场穿过该 导体时,将在导体内产生感生电流,这种感生电流在 导体内部自行闭合,像涡状流水一样,称为涡电流。 一、基本工作原理 如上图所示,一个通有交变电流I1的线圈,由于电流的变化,在线圈周围就产生一个交变的磁场H1。当金属导体置于该磁场内时,导体内即产生电涡流I2。此电涡流I2也将产生一个磁场H2,且与H1方向相反,因而减弱原磁场,从而导致线圈的电感量、阻抗和品质因数发生改变,这种现象称为电涡流效应。 一般来说,涡流线圈的阻抗、电感和品质因数与导体的几何形状、导电率、导磁率有关,也与线圈的几何参数、电流频率以及线圈至导体间的距离有关,其等效阻抗可用一个多元函数表示。 就可以非接触地测量线圈至金属导体的距离。 同理,若其中只有某一参数变化,而其他参数不变, 就可根据涡流的变化测量该参数。 2.涡流传感器类型 (1)高频反射式 (2)低频透射式 由于低频磁场集肤效应小,渗透深,当低频(音频范围)电压e1加到线圈ω1的两端后,所产生磁力线的一部分透过金属板材料G,使线圈ω2产生感应电动势e2。但由于涡流消耗部分磁场能量,使感应电动势e2减少,当金属板材料G越厚时,损耗的能量越大,输出电动势e2越小。因此,e2的大小与G的厚度及材料的性质有关,试验表明,e2随材料厚度h的增加按负指数规律减少,如图所示,因此,若金属板材料的性质一定,则利用e2的变化即可测量其厚度。 电涡流非电量的测量 检测深度的控制:由于存在集肤效应,电涡流只能检测解导体表面的各种物理参数。改变频率f(ω),可控制检测深度。激励源频率一般设定在100kHz-1MHz。频率越低,检测深度越深。 电涡流传感器,除了可以非接触测量距离外,还有多种用途:如控制x、I、ω不变,就可以检测与表面电导率σ有关的表面温度、表面裂纹等参数,或者用来检测与材料磁导率μ有关材料型号、表面硬度等参数。 3.等效电路 电涡流效应可以用等效电路的形式进行分析。 线圈是一
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