纳米SnO2材料的电子显微镜表征.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 v01．19．No．5 OFSENSORSAND 2006年10月 CHINESEJOURNAL ACTUATORS 0ct．2006 CharacterizationofNanosizedTransmissionElectron SnOz by HL厂ANG weil，2 S^i—zhenl·2*，CHENW≥，2一zhe3，LJN ofgassensor，FuzhouUniversity，Fuzhou350002，China； r1．Institute ] microelectroniccircuits，Fuzhou 2．Fujiankeylaboratoryof integrate 350002，China；} material，FuzhouUniversity，Fuzhou350002，China 3．departmentof isonekindof were different Trans— Abstract：Sn02 sensitivematerial，which gas preparedby methods．Byusing missionElectron and ofnanosizematerial Microscope(删)，theshape，size，crystalgrowth，defectaggregate wereobserved．Thecharacterizationandinfectiontothemicro-structureofmaterialwere analyze words：nanosize；SnOz；electronmicroscope Key E]艮峋C：0550 纳米SnOz材料的电子显微镜表征 黄世震1’孙，陈文哲3，林伟1’2 r1．福州大学气敏传感器研究所，福州350002；1 2．福建省微电子集成电路重点实验室，福州350002；l 3．福州大学材料学院，福州350002 摘 要：纳米二氧化锡为一种常用气敏材料，可通过不同方法制备二氧化锡纳米材料，利用电子显微镜，观察纳米材料的形 貌、大小、结晶、生长、缺陷以及团聚现象，分析、总结制备工艺及方法对材料结构影响． 关键词：纳米；二氧化锡；电子显微镜 中图分类号：TP212；TB383 文献标识码：A Sn02是一种较早被人们研究利用的半导体气学方程式为： 敏材料，Sn02粉体的粒径大小、颗粒的形状、均匀 2Na2COs+SnCl4+2H20 性、稳定性都直接影响着生成气敏器件的灵敏度功 耗、应恢复特性及稳定性等重要参数．体颗粒越小， 在反应的过程中有气泡冒出，并且有白色絮状 粉体的单位比表面积越大，性越高，此制成元件的灵 沉淀生成，即分别为二氧化碳气体和氢氧化锡．将反 敏度就越高，功耗就越低，应恢复时间越短．纳米