无尘室管理规范V01终稿.pptVIP

无尘室管理规范 Contents 无尘室的纪律 设备进出无尘室管理 无尘衣鞋及日常用品管理 进出无尘室的管制与方法 无尘室基本介绍 文件档案管理 无尘室物料管理 厂商进出无尘室注意事项 标示管理 无尘室安全注意事项 化学药品管理 无尘室基本介绍 1.无尘室又称洁净室（Clean Room） 无尘室是一个为了对室内空气中的微粒数进行控制所建的特殊封闭式建筑并具备下列特性的密闭作业空间： a.空气中微粒数小于一定数目 b.能防止外界微尘粒子进入 c.能迅速排出室内所产生之微尘粒子和有害气体到室外 d.维持温度、湿度及室压于一定标准 e.能防止静电、电磁等有害制程的干扰 f.安全及节能的考量 2.无尘室管理的目的 有效管理无尘室生产设备、工具、人员的进出、无尘衣鞋等，确保无尘室的高效洁净度、设备的正常运转及制程的稳定。 无尘室基本介绍 测量地点 微尘粒子数(PC/ft3) ≥0.5μm 大气层圈 ≤100 田园地区(微风) 10万~30万 住宅地区 10万~20万 办公室(工作中) 20万~40万 施工厂区 40万~100万 正在吸烟的会议室 60万~100万 各种条件下微尘状况 无尘室基本介绍 美国联邦标准（ USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3 洁净度级别 粒 径 (um) 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0 1 35 7.5 3 1