重光伏电池生产用高效低压扩散炉关键技术.pdfVIP

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2017-03-26 发布于四川
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重光伏电池生产用高效低压扩散炉关键技术

光伏电池生产用高效低压扩散炉关键技术研发一、领域：新型机械二、主要研发内容（一）800 ～900 ℃高温条件下低压扩散炉真空密封技术；（二）真空状态下反应区域的温度均匀性技术；（三）液态源恒定蒸发和输送技术；（四）系统抗腐蚀性能研究；（五）工艺过程中压力稳定控制技术。三、项目考核指标（项目执行期内）（一）经济指标：实现销售收入2000万元以上。（二）学术指标：申请发明专利≥1项，实用新型专利 ≥3项。（三）技术指标： 1. 生产能力：≥800片/批/管； 2. 恒温区温度均匀性：≤±1 ℃/1100mm （800~1100℃）； 3. 温度稳定性：≤±0.5 ℃/12h （880℃）； 4. 极限真空度：≤10mbar； 5. 压力控制精度：≤±1 mbar ； 6. 系统漏气率：停泵关阀后压升率＜10mbar /min； 7. 扩散方阻及均匀性：片内方阻不均匀度4% 以下（80- 90 Ω/ □），片间方阻不均匀性4% 以下，批间不均匀度4% 以下。四、项目实施期限：二年五、资助金额：不超过400万元