衬底同步加热溅射BST薄膜的研究.pdfVIP

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2017-03-26 发布于未知
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衬底同步加热溅射BST薄膜的研究.pdf

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衬底同步加热溅射BST薄膜的研究.pdf

第19卷第5期传感技术学报 v01．19No．5 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS 0ct．2006 FilmswithSubstrate BST Sputtering SynchronousHeating ZHANGLong’，LINLi-qiang，ZHUJian，ZHUOMin ElectronicDevices 210016，China) (Nn巧ing Institute，Na可ing how BSTfilmswhichwasfabricatedRF Abstract：Thisintroducedanewmethodof tO paper sputter by whilethesubstratewasheated ofBST magnetronsputteringequipment synchronously．Thecrystallization filmaffectedthedielectricconstantandtheCurie ofBSTfilmsand wereana一 cr-W temperature performance filmshowed structureundertheXRDtest．Therelativedielectric 1ysed．The crystal integratedperovskite constantwasover150anddielectric was than1．3 resultsshowedthat strengthlarger MV／cm．The high dielectricconstantand10WlOSSBSTfilmcanbefabricated methodwithout anneal using，this special process． words：substrate film；Curie Key synchronousheat；RFmagnetoelectricsputtering；BSTtemperature EEAOC：2810F 衬底同步加热溅射BST薄膜的研究张龙。，林立强，朱健，卓敏 (南京电子器件研究所，南京210016) 介电常数超过150，介质击穿强度大于1．3MV／cm．使用这种方法不需要专门的退火工艺，就可以制备晶体结构完整的高介电常数BST薄膜．关键词：同步衬底加热；射频磁控溅射；钛酸锶钡薄膜；居里温度中图分类号：TN304．9 文献标识码：A 在MEMS的研究开发中，钛酸锶钡(BsT)薄膜晶系，居里温度以下是铁电相，具有良好的铁电性、以其介电常数大、非线性强、漏电流小、不易疲劳、居压电性、热释电性及非线性光学等特性，用此薄膜所里温度可调等特点备受