第2章 电阻式传感器总结.ppt

* 传感器中弹性元件的输入量是力或压力， 输出量是应变或位移。 在力的变换中，弹性敏感元件通常有实心或空心圆柱体、 等截面圆环、等截面或等强度悬臂梁等。 压力变换的弹性敏感元件有弹簧管、膜片、膜盒、薄壁圆桶等。 * 应变片在悬臂梁上的粘贴及变形 * 荷重传感器原理演示 荷重传感器上的应变片在重力作用下产生变形。轴向变短，径向变长。 * 各种悬臂梁 * F F 固定点 固定点 电缆 * 应变式荷重传感器的外形及应变片的粘贴位置 F R 1 R 2 R 4 * 应变式荷重传感器外形及受力位置 F F * 应变式荷重传感器外形及受力位置 F F * 汽车衡 * 汽车衡称重系统 * 电子秤 磅秤 超市打印秤 远距离显示 * 电子天平 电子天平的精度可达十万分之一 * 人体秤 * 吊钩秤 便携式 * 应变式数显扭矩扳手 可用于汽车、摩托车、飞机、内燃机、机械制造和家用电器等领域，准确控制紧固螺纹的装配扭矩。量程2~500N.m，耗电量≤10mA，有公制/英制单位转换、峰值保持、自动断电等功能。 * 材料应变的测量 近年来，出现了应变传感器族趋势，每族由几 十个到上前个应变片组成，其误差的研究成为重大 工程项目中必须解决的问题。主要涉及： 1）引线长度的不同，带来附加电阻的变化； 2）胶粘剂的涂放厚度不均匀引入的误差； 3）放大器切换误差； 4）温度场的不均匀引入的误差等。 值得引起我们的重视。 * 第二节 压阻式传感器 压阻式传感器—利用硅的压阻效应和微电子技术制成。 工作原理—压阻效应 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种现象称为压阻效应。通常，灵敏系数可达100以上。 所有材料在某种程度上都呈现压阻效应，但在半导体材料中，这种效应特别显著。 半导体材料的电阻大小取决于有限数目的载流子—空穴和电子的迁移。 加在一定晶向上的外界应力，引起半导体能带的变化，使载流子的迁移率产生较大的变化，导致半导体电阻率产生相应的变化。 * 金属材料 半导体材料 式中： —— 纵向压阻系数 —— 应力 由材料力学知： 应力 应变 半导体材料弹性模量 灵敏系数 * 特点：灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化。 温度误差及其补偿 压阻器件的阻值和灵敏度系数受温度影响较大，会产生零位温度漂移和灵敏度温度漂移。 对于零位温度漂移一般采用桥臂上串、并联电阻的方法进行补偿。 压阻式传感器应用 压阻式固态压力传感器：利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好，灵敏度相等，漂移抵消，迟滞、蠕变非常小，动态响应快。 * 压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片 隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与硅膜片 隔离开来。 * 压阻式固态 压力传感器 内部结构 信号处理电路 * 小型压阻式固态压力传感器 高压进气口 低压进气口 绝对压力传感器 * 小型压阻式固态压力传感器 表压压力传感器 p1进气管 * 投入式液位计 压阻式固态压力传感器用于投入式液位计：p1的进气孔用柔性不锈钢隔离膜片隔离，并用硅油传导压力而与液体相通。 * 本章小结 电阻应变效应：应变效应和压阻效应 应变片的结构：丝式、箔式、薄膜、厚膜 特性：横向效应、温度误差 转换电路：电桥电路，非线性问题 设计与应用：非线性补偿--差动电桥 温度误差补偿—自补偿和桥路补偿 三个灵敏度K0 K KU * * 溅射式制片工艺 在真空室内，有一个用高熔点材料钨丝绕制的螺旋形加热器，钨丝上挂着待蒸发的金属丝，如金（Au）丝。 蒸发成膜的具体方法是使用真空泵把真空室内的气压抽至1.33×10-5Pa以下，然后对钨丝通以大电流，加热待蒸发金属丝，当温度达到蒸发温度（1000~2000℃之间），使蒸发材料表面的原子或分子开始蒸发，离开材料表面，由于真空充内残留气体分子很少，蒸发原子或分子不经碰撞到达基片，凝结成膜。 真空蒸发示意图 * 粘结剂和粘贴技术 应变片是用粘结剂粘贴到弹性元件上的。 对贴片处进行打磨清洗处理 选择粘结剂时必须考虑 应变片材料和被测件材料性能，要求粘接力强，粘结后机械性能可靠，粘合层要有足够大的剪切弹性模量。 良好的电绝缘性，蠕变和滞后小，耐湿，耐油，耐老化，动态应力测量时耐疲劳等。 应变片的工作条件，如温度、相对湿度、稳定性要求以及贴片固化时加热加压的可能性等。 * 常用的粘结剂类型 硝化纤维素型、氰基丙稀酸型、聚酯树脂型、环氧树脂型和酚醛树脂型等。 粘贴工艺 被测件粘贴表面处理、贴片位置确定、涂底胶、 贴片、干燥固化、贴片质量检查、引线的焊接与固定以及防护与屏蔽等。 粘结剂的性能及应变片的粘贴质量直接影响应变片的工作特性 零漂、