铝及铝合金晶粒细化剂.doc

电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材（送审稿）编制说明 1 工作简况 1.1 任务来源 国家目前大力发展战略新兴产业，为半导体产业带来了极大的机遇，3G、移动通信、半导体照明、汽车电子等新兴领域正在迅速发展，中孕育着巨大市场，将促进我国的IC产业进一步发展国标委综合[2011]57号电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶T-610，并确定由有研亿金新材料股份有限公司有限公司简称，。宁波江丰电子材料有限公司是国内从事集成电路芯片制造用超高纯度溅射靶材研发生产的基地核心团队多名海外归国博士组成，并引进了多名美国、日本籍专家，形成了在同行业中具有国际影响力的创业团队已被美国、日本、欧洲、韩国、东南亚、中国大陆及台湾的主流半导体公司认可，并得到批量生产采用。江丰电子所从事的产业是国家中长期高科技发展规划所大力鼓励的，研发及产业化项目已经纳入了国家技术创新体系，先后承担了国家863引导项目、863重大专项、科技部02重大专项、发改委重大专项、工信部专项基金项目。中国有色金属工业协会有研亿金新材料股份有限公司电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材与会专家对标准的讨论稿进行了认真、热烈的讨论，撰写了会议纪要，。电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材由于集成电路的集成度越来越高，互联线宽度不断减小，因此对溅射靶材提出非常严格的要求，靶材成分和纯度直接影响着电子薄膜性