采用单片机控制的真空控制器.pdf

2005年12月 第十三届全目电子束·离子束·光子束学术年套 湖南·长沙 采用单片机控制的真空控制器 邹春艳 伍三忠 罗宏洋 (中国电子科技集团公司电子第48研究所长沙市410111) 摘要：本文介绍了一种采用单片机控制的新型真空控制器。离子注入机真空系统复杂，为适应自 动化控制的发展要求，真空控制器除了必须具备手动控制和执行上位机控制指令的功能外，还要具备 通讯接口标准化、可靠性高、成本低等特点。采用8032单片机控制的真空控制器可以完全实现以上设 计要求，文中阐述了它的工作原理，主要硬件结构、Modbus现场工业总线协议的软件设计及抗干扰措 施。 关键词：单片机；真空控制器；现场工业总线 一、前盲 随着大规模集成电路的发展，离子注入机已成为半导体工业中心不可少的设备，其自动化程度的 要求也越来越高。采用计算机控制必然会带来新的生命力，它可提高注人机的自动化水平，减少人为 因素，提高工艺重复性，以及改善操作人员的劳动条件等。而真空控制器是离子注入机当中必不可少 的部件。PLC、工控机、智能网络节点、单片机等都能实现该部件的控制要求、满足可靠性和自动性，但 从性价比去分析，单片机系统就远远优于其它方法构建的控制器。笔者根据离子注人机的要求选用具 有功能强、可靠稳定、应用灵话且成本低等特点的80C32及其它集成电路研制成一台新型的真空控制 器。该控制器具有手动和自动功能，不仅能手动控制泵及阀门等真空部件，监视它们的运行状态，而 且能与主机进行串口通讯，接收主机发出的命令，自动执行上述功能，实现主机遥控操作。 二、工作原理 该真空控制器用于控制注入机加速管之后的泵、各个真空阀门的开启与关闭。设计主要是实现多 通道模拟量输人、多通道数字量输入输出、RS232C光纤通信、Mmlbus通讯协议、真空互锁保护等功能 模块。 具体设计如下：采用80C32单片微型计算机作控制器，外接16K的程序储存器和8K的数据储存 器，用74LS373作地址锁存，74IJs245作总线驱动，同时扩展4片并行接口芯片8155与外设接口。4x5 键盘电路、控制、监控及报警电路均挂在它的口线上。80C32系统的外围电路对真空计输出信号进行 采集和数据处理，转化为0—255数值，置成数值／真空函数表。另外，还利用80c32内部的一个全双工 串行口接口与主机进行异步通讯。手动方式就是根据面板上的真空部件运行图及采集过来的真空信 号进行按键操作，实现泵、阀等的开关动作。而自动方式则把监视被控对象的一些信息及真空信号反 馈给主机，由主机下命令给本控制器来执行上述操作。它的原理方框图如图1。 -145- 200,5年12月 第十三届全国电子柬·离子束·光子束学术年会 湖南·长沙 三、摇硬件介绍 1．多通道模拟量输人电路 图l：真空控制器原理方框图 图2多通道模拟量输入的前级放大电路图 该真空控制器需要采集10多路真空计输出信号，信号电平范围一致，故可以采用多通道切换式的 统一的前级放大电路。舢，D转换采用ADC0809芯片，它的精度为8位，其转换时间为100us，性能可满 足本控制器的要求。 运放部分主要是将采集到的信号进行放大使它们能够满足AD转换条件的输人电平0—5V，其中 CD4051的输入端与真空计的输出端相连(包括高、低真空计)。W-、w，做凋零用，w2为安装调试时微 调，也可以补偿由于线路引起的误差。并且考虑到前级运放的输人是真空计输出的信号，因而选取用 -146— 2005年12月 第十三届全圈电子束·寓子束·光子束学术年套 湖南·长沙 自稳零高精度运放OP07，它的输入阻抗很高，约50M，输入失调电压温漂和输入失调电流漂都很小且 价格适中。第二级选用普通的斗A741。 这种结构的优点就是：(1多路测真空信号共用一路有源综合电路(运放)(2)测量点问的切换采 用廉价的抗干扰能力强的CD4051八选一模拟开关，其开关的导通电阻(5000)及导通电阻路差对测 量信号的影响可忽略不计。通道的切换由80C32单片机中Pl口来控制。 2．多通道数字量输人输出电路 该真空控制器要处理数字信号有63路，需要扩展8032的I／O口。8155内含256字节的RAM，一 个可编程14位定时／计数器，2个8位可编程，一个6位可编程L／o口。本控制器中选用4片8155，分 别用来输出执行动作、输出泵保护及报警信号、监视真空部件运行状态、键盘行与列的输人口。为防止 干扰产生误动作、误信号输入输出都采用TILll7光电隔离。输出部分的光隔电路见图5输出线路图 3．申行口通讯 本系统采用目前串行通信中广泛使用的一种接口电路一20mA环流。本机的串行口TxD、RXD通 过光耦与光纤传输器的RXD、TXD相连，形成20mA环流，其图如下： VCC VCC TXD(+) T×D(一) R×D(