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Ch1—微惯性系统理论与应用
微静电马达 1988年,加州伯克利分校 马达的直径为100μm,厚度仅为1μm,在350V的三相电压作用下最大转速可达500转/分钟。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 数字光学控制器(DLP) 1987年美国德州仪器(TI)公司发明 优点:高分辨率、高对比度、响应速度快、带宽等。 应用:数字相机、高频天线阵列、新一代外层空间望远镜、全息照相、数字图像处理等,目前,DMD广泛应用于数字光处理器件(DLP),用于数字投影显示(DPD)、高清晰度电视(HDTV)、微型显示。 目前,全球已经有将近40家著名的TV和放映设备厂商开始采用DLP子系统。LG公司也在韩国电子展览会上展示了一款采用DLP子系统的52英寸彩电(1英寸= 2. 54 cm) 。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. RF MEMS Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. MEMS麦克风是利用硅薄膜来检测声压的,MEMS麦克风能够在芯片上集成一个模数转换器,形成具有数字输出的麦克风。MEMS麦克风用途广泛,目前主要应用在手机、数码相机、MP3播放器和PDA、耳机和助听器等领域。 楼氏声学公司出品的SiSonic贴片式MEMS麦克风 MEMS麦克风 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 微型生物分析仪 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2. MEMS的基本特征 尺度微型化、系统集成化 当尺度缩小到微米乃至亚微米量级时,产生尺度效应,使得物理现象与宏观世界有很大差别。 MEMS尺度 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 尺度效应特征: 力的尺度效应。与特征尺寸高次方成比例的力的作用减小(惯性力、体积力、电磁力),与特征尺寸低次方成比例的力的作用明显增加(静电力、摩擦力、黏性力),并成为影响MEMS性能的主要因素。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 力的尺度效应 Evaluation only. Created with Aspose.
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