真空检漏vacuumleakdetectìon.pptVIP

主要内容 5.1 概述 一.真空检漏的意义 二. 真空系统漏气的判断 三. 漏孔大小的表示 四．容许漏率 5.2 检漏的基本原理 一. 压强差的作用 二. 示漏气体与探测器 三、检漏方法的响应过程 四、各种效应的利用 五、检漏器的性能指标 5.3 压力检漏法 一. 打气检漏法 二. 卤素检漏法 三、氨检漏法 5.4 真空检漏法 一. 高频火花检漏法 二. 真空计检漏法 三、质谱仪检漏法 1．工作原理 2．示漏气体 3．检漏方法 4．性能指标 5.1 概述 一.真空检漏的意义 二. 真空系统漏气的判断 三. 漏孔大小的表示 四．容许漏率 真空检漏的基本概念 ?真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。 漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。 虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。 漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。 在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。????漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。 最大容许漏率：于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。 最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。 5.2 检漏的基本原理 检漏目的： 一. 压强差的作用 P1P2； P1P2 e.g. Testing for the leak of tire of a bicycle. 缺点：不能检测微小漏孔 二. 示漏气体与探测器 示漏气体：卤素 ；放射元素；氨气等 探测器： 电离计等； 三、检漏方法的响应过程 立刻响应；响应较快稳定；响应很慢稳定； 探查法 四、各种效应的利用 五、检漏器的性能指标 漏孔的气流特性 气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。 检漏方法的分类 Chapter 5 Leak Detection Section 1. General introduction 1. The importance of leak detection (a) An ideal vacuum chamber should maintain forever the vacuum (pressure) reached at the moment of its separation from the pumps. (b) Any real chamber presents a rise in pressure after being isolated from the pumping system. Continuation of general introduction (c ) The pressure rise is produced by the gas which penetrates through leak ,which evolves from the walls( outgassing and vapor) and which enteres by permeation (see page 111). P·Se·dt – Q·dt = –V·dP Where P:Pressure; Se:Effective pumping speed V: Volume; Q: leak, outgassing permeation Continuation of general introduction 2. Determination of the leak (a) Plotting of pressure vs time curve will assist in determining the the actual leak. Determination of the real leaks Straight line 1 : the rise of pressure is produced only by real leaks. Curve 2 : the rise of pressure by outgassing Curve 3 : the rise of pressure by a combined effect (leak,