本實驗室以電漿與薄膜技術為基礎來發展介觀尺寸之微結構材料與薄膜材.doc

周賢鎧教授-電漿製程與介觀材料電漿製程與介觀材料(Plasma Processing and Mesoscopic Materials Laboratory) 介觀尺度介於微米與奈米之間，介觀材料則具有獨特物理與化學特性。本實驗室以電漿製程與薄膜技術為基礎來發展介觀材料與薄膜材料，微感測器、發光及被動電子元件等。規劃發展的微結構材料包含介觀孔隙薄膜、奈米析出物陶金薄膜及優選取向薄膜。另一方面，本實驗室也發展具有高效率電子發射效率的薄膜碳材、奈米碳管、氮化物與氧化物奈米材料。 電漿製程 真空濺鍍薄膜技術 低壓電漿表面處理技術 大氣電漿表面處理技術 介觀材料 介觀孔隙金屬薄膜與陶金薄膜 奈米金屬分散於氧化物中之陶金薄膜 奈米碳管、矽奈米線與奈米錐、鎳奈米柱、氮化銦奈米柱、氧化物奈米線 元件 矽奈米錐介觀孔隙金屬薄膜奈米碳管