蔡孟伦硕士论文-郭艳光-国立彰化师范大学.doc

國立彰化師範大學光電科技研究所 碩士論文 指導教授：郭艷光教授 DVD用650 nm 磷化鋁鎵銦雷射二極體的設計與分析Design and Analysis of 650 nm AlGaInP Laser Diodes for DVD Application 研究生：蔡孟倫 撰 中華民國九十三年六月國立彰化師範大學光電科技研究所 碩士論文 研究生：蔡孟倫 DVD用650 nm 磷化鋁鎵銦雷射二極體的設計與分析Design and Analysis of 650 nm AlGaInP Laser Diodes for DVD Application 本論文業經審查及口試合格特此證明 論文考試委員會主席__________ 委員：__________ __________ 指導教授：郭艷光博士__________ 所 長：吳仲卿主任__________ 中華民國九十三年六月 誌 謝 首先首先感謝郭艷光教授在我的兩年碩士就讀期間給予我的專業上的訓練，包括專業知識、語言能力、電腦能力，以及讓我學習到盡最大的努力把事情做好的態度，讓我受用無窮。非常感謝老師給我的栽培，讓我更有自信去追求下一階段的挑戰，在此致上我最深切與誠懇的感謝，也祝福老師能夠在未來的日子裡身體健康，做更多的研究對於學術界有更多的裨益。 感謝黃滿芳教授指導我做研究，讓我的碩士論文能順利的完成。 在這一年半來我從黃滿芳教授那裡學習到很多的專業知識，讓我對於光電半導體方面的專業知識更上一層樓，也感受到黃滿芳教授專業方面的能力，讓我知道我還有很多東西需要學習。非常感謝黃滿芳教授在這一段期間耐心的指導我，有了黃滿芳教授的指導讓我比別人更幸福，在此也致上我最深切與誠懇的感謝，也同時祝福老師能夠順心如意。 感謝劉柏挺劉柏挺玉龍、睿明目 錄 目錄 …………………………………………..……………………….…...v 中文摘要 ………………………………..……………………………….viii 英文摘要 …………………………………………………………………..x 圖表索引 ……………………………………………..………………….xiii 磷化鋁鎵銦材料之光學特性與發展歷史 ………………...1 1.1 磷化鋁鎵銦之材料與光學特性................…..………...2 1.1.1晶格匹配基板砷化鎵.……..……………..………2 1.1.2折射率 …………………………………………...5 1.1.3能隙構造………………………..………………...7 1.1.4載子有效質量…………………..……………….11 1.1.5磊晶成長...……………………..………………..11 參考文獻…………….…………...…..………….…................................. 14 磷化鋁鎵銦半導體雷射簡介…………………………….. 17 2.1發展歷程………………………………..……………....18 2.2活性層結構……………………………………………..21 2.2.1雙異質結構雷射……………...………………….21 2.2.2量子井雷射……………....………………………24 2.2.3具應變量子井雷射…………...………………….26 2.3漏電流………..……………….………………………30 2.4雷射二極體的幾何結構…...………………….……35 參考文獻…………………………………………………………………..40 DVD用650 nm磷化鋁鎵銦半導體雷射漏電流分析…......46 3.1前言……………………….…………………...…..........46 3.2模擬軟體LASTIP的理論背景…………………..…….48 3.3元件結構……….……………………………………….51 3.4自發輻射頻譜及增益頻譜譜…...….………...………...53 3.5光侷限層厚度設計…………………………...….…......55 3.6 SCH結構實驗與理論模擬…….……………….….......59 3.7 GRIN-SCH結構設計與理論分析……………….....….66 3.7.1 GRIN-SCH雷射的發展歷程簡介.………….….66 3.7.2理論模擬分析………………………….........…..75 3.8 SCH結構變化量子井個數實驗與理論模擬……………88 3.9結論………………………...…………………...………...95 參考文獻……………………………………………………………….…97 結論……………………………………………………….....100論文發表清單